2025-02-23T04:07:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-78241%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T04:07:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-78241%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T04:07:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T04:07:45-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления

Исследовались кристаллическая структура, электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных при температурах подложки от 200 до 500°С путем прямоточного нереактивного магнетронного распыления механической смеси содержащей 95 мас.% In₂O₃ и 5 мас.% SnO₂. Пленки ITO, осажденные при температуре...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Юрченко, Г.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2000
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/78241
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!