Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением
Рассмотрен механизм формирования конденсата из ионно-плазменных потоков, который включает два основных процесса: приповерхностную имплантацию, сопровождающуюся перемешиванием, как результат действия высокоэнергетических осаждаемых частиц, и конденсацию низкоэнергетических частиц, при которой, в зави...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2008
|
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7856 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / О.В. Соболь // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 20-36. — Бібліогр.: 48 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-7856 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-78562010-04-21T12:01:32Z Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением Соболь, О.В. Рассмотрен механизм формирования конденсата из ионно-плазменных потоков, который включает два основных процесса: приповерхностную имплантацию, сопровождающуюся перемешиванием, как результат действия высокоэнергетических осаждаемых частиц, и конденсацию низкоэнергетических частиц, при которой, в зависимости от температуры осаждения, проходится последовательность структурных состояний: аморфно-кластерное – кристаллическое β-мета-стабильной фазы – кристаллическое α-стабильной фазы. Розглянутий механізм формування конденсату з іонно-плазмових потоків, який включає два основних процеси: приповерхневу імплантацію, яка супроводжується атомним перемішуванням, як наслiдок дiї високоенергетичних часток, що осаджуються, та конденсацію низькоенергетичних частинок при якої у залежності від температури осадження має мiсце утворення структурних станів у послiдовностi: аморфно-кластерний – кристалічної β-метастабільної фазикристалічної α-стабільної фази. The mechanism of condensate formation from ionplasma fluxes was proposed which included two main processes: sub-surface implantation accompanied intermixing– for high-energy deposited particles, and low-energy particle condensation at which the consequence of structure states: amorphous-cluster – crystalline metastable β-phase – crystalline stable α-phase passes depending on the deposition temperature. 2008 Article Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / О.В. Соболь // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 20-36. — Бібліогр.: 48 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7856 538.91 :539.216.2: 539.219.3: 539.234 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Рассмотрен механизм формирования конденсата из ионно-плазменных потоков, который включает два основных процесса: приповерхностную имплантацию, сопровождающуюся перемешиванием, как результат действия высокоэнергетических осаждаемых частиц, и конденсацию низкоэнергетических частиц, при которой, в зависимости от температуры осаждения, проходится последовательность структурных состояний: аморфно-кластерное – кристаллическое β-мета-стабильной фазы – кристаллическое α-стабильной фазы. |
| format |
Article |
| author |
Соболь, О.В. |
| spellingShingle |
Соболь, О.В. Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| author_facet |
Соболь, О.В. |
| author_sort |
Соболь, О.В. |
| title |
Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_short |
Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_full |
Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_fullStr |
Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_full_unstemmed |
Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| title_sort |
механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2008 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7856 |
| citation_txt |
Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / О.В. Соболь // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 20-36. — Бібліогр.: 48 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT sobolʹov mehanizmformirovaniâfazovostrukturnogosostoâniâkondensatovpolučennyhionnymraspyleniem |
| first_indexed |
2023-10-18T16:38:29Z |
| last_indexed |
2023-10-18T16:38:29Z |
| _version_ |
1796139510167240704 |