2025-02-23T20:17:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-7866%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T20:17:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-7866%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T20:17:45-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK

2025-02-23T20:17:45-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов

В работе представлена комплексная система мониторинга, управления и стабилизации процесса ионно-лучевого осаждения. Также описана процедура оптимизации параметров процесса получения наноразмерных нитридных и оксинитридных пленок и наногетероструктур на основе титана. В работе приведена схема техноло...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Main Authors:	Деревянко, А.В., Стервоедов, А.Н., Силкин, М.Ю.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2008
Online Access:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7866
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

id	irk-123456789-7866
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-78662010-04-21T12:01:27Z Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов Деревянко, А.В. Стервоедов, А.Н. Силкин, М.Ю. В работе представлена комплексная система мониторинга, управления и стабилизации процесса ионно-лучевого осаждения. Также описана процедура оптимизации параметров процесса получения наноразмерных нитридных и оксинитридных пленок и наногетероструктур на основе титана. В работе приведена схема технологической части установки ионно-лучевого осаждения функциональных пленок и синтеза наногетероструктур, для которой система разрабатывалась, описана структурная схема микропроцессорной системы управления, принципиальные схемы отдельных ее блоков, алгоритмы работы, а также результаты исследования полученных нитридных и оксинитридных пленок титана наноразмерной толщины. У даній роботі представлена розроблена комплексна система моніторингу, управління і стабілізації процесу іонно-променевого осадження, а також описана оптимізація параметрів здобуття нанорозмірних нітридних і оксинітридних плівок і наногетероструктур на основі титану. У роботі представлена схема технологічної частини установки іонно-променевого осадження функціональних плівок і синтезу наноструктур, для якої система розроблялася, структурна схема розробленої мікропроцесорної системи, принципові схеми окремих її блоків, алгоритми роботи, а також результати отриманих нітридних і оксинітиідних плівок титану нанорозмірної товщини. The integrated system developed for the ion-beam deposition process monitoring, control and stabilizing is presented in this work. Also nitride and oxynitride nanoscale titanium films and structures parameters obtaining optimization method is described. The scheme of the functional films and synthesis of nanoscale structures ion-beam deposition plant, which the system was developed for, flow diagram of the developed microsystem, schemes of its separate blocks, algorithms of work, and also results of obtaining nitride and oxynitride nano-sized titanium films are presented. 2008 Article Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов / А.В. Деревянко, А.Н. Стервоедов, М.Ю. Силкин // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 114-120. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7866 539.23; 621.793.184 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
description	В работе представлена комплексная система мониторинга, управления и стабилизации процесса ионно-лучевого осаждения. Также описана процедура оптимизации параметров процесса получения наноразмерных нитридных и оксинитридных пленок и наногетероструктур на основе титана. В работе приведена схема технологической части установки ионно-лучевого осаждения функциональных пленок и синтеза наногетероструктур, для которой система разрабатывалась, описана структурная схема микропроцессорной системы управления, принципиальные схемы отдельных ее блоков, алгоритмы работы, а также результаты исследования полученных нитридных и оксинитридных пленок титана наноразмерной толщины.
format	Article
author	Деревянко, А.В. Стервоедов, А.Н. Силкин, М.Ю.
spellingShingle	Деревянко, А.В. Стервоедов, А.Н. Силкин, М.Ю. Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов
author_facet	Деревянко, А.В. Стервоедов, А.Н. Силкин, М.Ю.
author_sort	Деревянко, А.В.
title	Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов
title_short	Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов
title_full	Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов
title_fullStr	Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов
title_full_unstemmed	Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов
title_sort	стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов
publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate	2008
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7866
citation_txt	Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов / А.В. Деревянко, А.Н. Стервоедов, М.Ю. Силкин // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 114-120. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
work_keys_str_mv	AT derevânkoav stabilizaciâprocessaionnolučevogoosaždeniânanorazmernyhplenoknitridovioksinitridovmetallov AT stervoedovan stabilizaciâprocessaionnolučevogoosaždeniânanorazmernyhplenoknitridovioksinitridovmetallov AT silkinmû stabilizaciâprocessaionnolučevogoosaždeniânanorazmernyhplenoknitridovioksinitridovmetallov
first_indexed	2023-10-18T16:38:31Z
last_indexed	2023-10-18T16:38:31Z
_version_	1796139511231545344

Стабилизация процесса ионно-лучевого осаждения наноразмерных пленок нитридов и оксинитридов металлов

Similar Items