Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ
ННЦ ХФТИ сохраняет традиции лидерства в разработке вакуумно-дуговых технологий и оборудования. Разработаны и успешно используются планарные испарители, обеспечивающие высокую производительность и равномерность покрытий на больших поверхностях, создан двухступенчатый вакуумно-дуговой разряд, на базе...
Збережено в:
| Дата: | 2008 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2008
|
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7868 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ / В.М. Шулаев, А.А. Андреев // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 4-19. — Бібліогр.: 32 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | ННЦ ХФТИ сохраняет традиции лидерства в разработке вакуумно-дуговых технологий и оборудования. Разработаны и успешно используются планарные испарители, обеспечивающие высокую производительность и равномерность покрытий на больших поверхностях, создан двухступенчатый вакуумно-дуговой разряд, на базе которого разработаны технологии азотирования стальных изделий и последующего нанесения покрытий в едином технологическом процессе. В последние годы успешно разрабатываются сверхтвёрдые наноструктурные покрытия на основе нитридов переходных металлов, в том числе TiN, TiN-CrN, TiSiN, осаждаемые в диапазоне температуры подложки от 100 до 500 °С с твердостью 40 ÷ 68 ГПа. |
|---|