Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ
ННЦ ХФТИ сохраняет традиции лидерства в разработке вакуумно-дуговых технологий и оборудования. Разработаны и успешно используются планарные испарители, обеспечивающие высокую производительность и равномерность покрытий на больших поверхностях, создан двухступенчатый вакуумно-дуговой разряд, на базе...
Збережено в:
Дата: | 2008 |
---|---|
Автори: | , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2008
|
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7868 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ / В.М. Шулаев, А.А. Андреев // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 4-19. — Бібліогр.: 32 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-7868 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-78682010-04-21T12:01:56Z Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ Шулаев, В.М. Андреев, А.А. ННЦ ХФТИ сохраняет традиции лидерства в разработке вакуумно-дуговых технологий и оборудования. Разработаны и успешно используются планарные испарители, обеспечивающие высокую производительность и равномерность покрытий на больших поверхностях, создан двухступенчатый вакуумно-дуговой разряд, на базе которого разработаны технологии азотирования стальных изделий и последующего нанесения покрытий в едином технологическом процессе. В последние годы успешно разрабатываются сверхтвёрдые наноструктурные покрытия на основе нитридов переходных металлов, в том числе TiN, TiN-CrN, TiSiN, осаждаемые в диапазоне температуры подложки от 100 до 500 °С с твердостью 40 ÷ 68 ГПа. ННЦ ХФТІ зберігає традиції лідерства в розробці вакуумно-дугових технологій і устаткування. Розроблені й успішно використовуються планарні випарники, що забезпечують високу продуктивність і рівномірність покриттів на великих поверхнях, створений двоступеневий вакуумно-дуговий розряд, на базі якого розроблені технології азотування сталевих виробів і наступного нанесення покриттів у єдиному технологічному процесі. В останні роки успішно розробляються надтверді наноструктурні покриття на основі нітридів перехідних металів, у тому числі TіN, TіN-CrN, Ti-Si-N, що осаджуються в діапазоні температури подкладки від 100 до 500 °С з твердістю 40 ÷ 68 ГПа. The NSC KIPT keeps the tradition of leadership in developing of vacuum-arc technology and equipment. Planar evaporators, which provide high productivity and uniformity of the coatings on large surfaces, have been developed and successfully used; two-phase vacuum-arc discharge has been obtained; technology of steel items nitriding and following coatings deposition in a single engineering process are developed on the base of this. In recent years superhard nanostructured coatings on the base of transition metals nitrides including TiN, TiN-CrN, Ti-Si-N, which are deposited in the range of temperatures of 100 – 500 °С with the hardness of 40 ÷ 68 GPa are successfully developed. 2008 Article Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ / В.М. Шулаев, А.А. Андреев // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 4-19. — Бібліогр.: 32 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7868 620.178.1: 539.533 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
description |
ННЦ ХФТИ сохраняет традиции лидерства в разработке вакуумно-дуговых технологий и оборудования. Разработаны и успешно используются планарные испарители, обеспечивающие высокую производительность и равномерность покрытий на больших поверхностях, создан двухступенчатый вакуумно-дуговой разряд, на базе которого разработаны технологии азотирования стальных изделий и последующего нанесения покрытий в едином технологическом процессе. В последние годы успешно разрабатываются сверхтвёрдые наноструктурные покрытия на основе нитридов переходных металлов, в том числе TiN, TiN-CrN, TiSiN, осаждаемые в диапазоне температуры подложки от 100 до 500 °С с твердостью 40 ÷ 68 ГПа. |
format |
Article |
author |
Шулаев, В.М. Андреев, А.А. |
spellingShingle |
Шулаев, В.М. Андреев, А.А. Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ |
author_facet |
Шулаев, В.М. Андреев, А.А. |
author_sort |
Шулаев, В.М. |
title |
Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ |
title_short |
Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ |
title_full |
Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ |
title_fullStr |
Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ |
title_full_unstemmed |
Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ |
title_sort |
сверхтвердые наноструктурные покрытия в ннц хфти |
publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
publishDate |
2008 |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7868 |
citation_txt |
Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ / В.М. Шулаев, А.А. Андреев // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 4-19. — Бібліогр.: 32 назв. — рос. |
work_keys_str_mv |
AT šulaevvm sverhtverdyenanostrukturnyepokrytiâvnnchfti AT andreevaa sverhtverdyenanostrukturnyepokrytiâvnnchfti |
first_indexed |
2023-10-18T16:38:31Z |
last_indexed |
2023-10-18T16:38:31Z |
_version_ |
1796139511442309120 |