Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ

ННЦ ХФТИ сохраняет традиции лидерства в разработке вакуумно-дуговых технологий и оборудования. Разработаны и успешно используются планарные испарители, обеспечивающие высокую производительность и равномерность покрытий на больших поверхностях, создан двухступенчатый вакуумно-дуговой разряд, на базе...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Дата:2008
Автори: Шулаев, В.М., Андреев, А.А.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2008
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7868
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ / В.М. Шулаев, А.А. Андреев // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 4-19. — Бібліогр.: 32 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-7868
record_format dspace
spelling irk-123456789-78682010-04-21T12:01:56Z Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ Шулаев, В.М. Андреев, А.А. ННЦ ХФТИ сохраняет традиции лидерства в разработке вакуумно-дуговых технологий и оборудования. Разработаны и успешно используются планарные испарители, обеспечивающие высокую производительность и равномерность покрытий на больших поверхностях, создан двухступенчатый вакуумно-дуговой разряд, на базе которого разработаны технологии азотирования стальных изделий и последующего нанесения покрытий в едином технологическом процессе. В последние годы успешно разрабатываются сверхтвёрдые наноструктурные покрытия на основе нитридов переходных металлов, в том числе TiN, TiN-CrN, TiSiN, осаждаемые в диапазоне температуры подложки от 100 до 500 °С с твердостью 40 ÷ 68 ГПа. ННЦ ХФТІ зберігає традиції лідерства в розробці вакуумно-дугових технологій і устаткування. Розроблені й успішно використовуються планарні випарники, що забезпечують високу продуктивність і рівномірність покриттів на великих поверхнях, створений двоступеневий вакуумно-дуговий розряд, на базі якого розроблені технології азотування сталевих виробів і наступного нанесення покриттів у єдиному технологічному процесі. В останні роки успішно розробляються надтверді наноструктурні покриття на основі нітридів перехідних металів, у тому числі TіN, TіN-CrN, Ti-Si-N, що осаджуються в діапазоні температури подкладки від 100 до 500 °С з твердістю 40 ÷ 68 ГПа. The NSC KIPT keeps the tradition of leadership in developing of vacuum-arc technology and equipment. Planar evaporators, which provide high productivity and uniformity of the coatings on large surfaces, have been developed and successfully used; two-phase vacuum-arc discharge has been obtained; technology of steel items nitriding and following coatings deposition in a single engineering process are developed on the base of this. In recent years superhard nanostructured coatings on the base of transition metals nitrides including TiN, TiN-CrN, Ti-Si-N, which are deposited in the range of temperatures of 100 – 500 °С with the hardness of 40 ÷ 68 GPa are successfully developed. 2008 Article Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ / В.М. Шулаев, А.А. Андреев // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 4-19. — Бібліогр.: 32 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7868 620.178.1: 539.533 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description ННЦ ХФТИ сохраняет традиции лидерства в разработке вакуумно-дуговых технологий и оборудования. Разработаны и успешно используются планарные испарители, обеспечивающие высокую производительность и равномерность покрытий на больших поверхностях, создан двухступенчатый вакуумно-дуговой разряд, на базе которого разработаны технологии азотирования стальных изделий и последующего нанесения покрытий в едином технологическом процессе. В последние годы успешно разрабатываются сверхтвёрдые наноструктурные покрытия на основе нитридов переходных металлов, в том числе TiN, TiN-CrN, TiSiN, осаждаемые в диапазоне температуры подложки от 100 до 500 °С с твердостью 40 ÷ 68 ГПа.
format Article
author Шулаев, В.М.
Андреев, А.А.
spellingShingle Шулаев, В.М.
Андреев, А.А.
Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ
author_facet Шулаев, В.М.
Андреев, А.А.
author_sort Шулаев, В.М.
title Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ
title_short Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ
title_full Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ
title_fullStr Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ
title_full_unstemmed Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ
title_sort сверхтвердые наноструктурные покрытия в ннц хфти
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2008
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7868
citation_txt Сверхтвердые наноструктурные покрытия в ННЦ ХФТИ / В.М. Шулаев, А.А. Андреев // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 1-2. — С. 4-19. — Бібліогр.: 32 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT šulaevvm sverhtverdyenanostrukturnyepokrytiâvnnchfti
AT andreevaa sverhtverdyenanostrukturnyepokrytiâvnnchfti
first_indexed 2023-10-18T16:38:31Z
last_indexed 2023-10-18T16:38:31Z
_version_ 1796139511442309120