2025-02-23T15:40:43-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-7879%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:40:43-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-7879%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:40:43-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T15:40:43-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде
Впервые с помощью различных методов (Резерфордовского обратного рассеяния ионов (RBS), сканирующей туннельной микроскопии (STM), растровой электронной микроскопии с микроанализом (SEM c EDS), дифракции рентгеновских лучей (XRD) включая скользящий пучок, измерения нанотвердости (Н), модуля упругости...
Saved in:
| Main Authors: | , , , , , , , , , |
|---|---|
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2008
|
| Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7879 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| id |
irk-123456789-7879 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Впервые с помощью различных методов (Резерфордовского обратного рассеяния ионов (RBS), сканирующей туннельной микроскопии (STM), растровой электронной микроскопии с микроанализом (SEM c EDS), дифракции рентгеновских лучей (XRD) включая скользящий пучок, измерения нанотвердости (Н), модуля упругости (Е)) проведены исследования нанокомпозитных покрытий на основе Ti-Al-N и Ti-Si-N, конденсированные в вакууме, ионноплазменным осаждением с ВЧ разрядом. Обнаружено то, что модуль упругости Е уменьшается от 420 ГПа до 323 ГПа при увеличении глубины вдавливания наноиндентора, а твердость Н изменяется с увеличением через максимум от 32,3 до 38,3 ГПа с последующим понижением до 30,3 ГПа, в случае твердого покрытия Ti-Al-N. В тоже время, зависимость твердости от нагрузки сверхтвердого покрытия Ti-Si-N уменьшается до 38,4 ГПа с увеличением глубины проникновения индентора, при уменьшении среднего значения модуля упругости от 447,5 до 363±17 ГПа. Строение нанокомпозитных твердых и сверхтвердых покрытий имеет свои особенности и зависит от состояния подложки, условий конденсации, состава фаз и размера их зерен. |
| format |
Article |
| author |
Погребняк, А.Д. Береснев, В.М. Ильяшенко, М.В. Проценко, С.И. Дуб, С.Н. Турбин, П.В. Кирик, Г.В. Шипиленко, А.П. Кылышканов, М.К. Грищенко, В.И. |
| spellingShingle |
Погребняк, А.Д. Береснев, В.М. Ильяшенко, М.В. Проценко, С.И. Дуб, С.Н. Турбин, П.В. Кирик, Г.В. Шипиленко, А.П. Кылышканов, М.К. Грищенко, В.И. Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде |
| author_facet |
Погребняк, А.Д. Береснев, В.М. Ильяшенко, М.В. Проценко, С.И. Дуб, С.Н. Турбин, П.В. Кирик, Г.В. Шипиленко, А.П. Кылышканов, М.К. Грищенко, В.И. |
| author_sort |
Погребняк, А.Д. |
| title |
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде |
| title_short |
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде |
| title_full |
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде |
| title_fullStr |
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде |
| title_full_unstemmed |
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде |
| title_sort |
особенности структуры и свойств твердых ti-al-n и сверхтвердых ti-si-n нанокомпозитных покрытий, осажденных pvd в вч разряде |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2008 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7879 |
| citation_txt |
Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде / А.Д. Погребняк, В.М. Береснев, М.В. Ильяшенко, С.И. Проценко, С.Н. Дуб, П.В. Турбин, Г.В. Кирик, А.П. Шипиленко, М.К. Кылышканов, В.И. Грищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 3-4. — С. 221-227. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT pogrebnâkad osobennostistrukturyisvojstvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytijosaždennyhpvdvvčrazrâde AT beresnevvm osobennostistrukturyisvojstvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytijosaždennyhpvdvvčrazrâde AT ilʹâšenkomv osobennostistrukturyisvojstvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytijosaždennyhpvdvvčrazrâde AT procenkosi osobennostistrukturyisvojstvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytijosaždennyhpvdvvčrazrâde AT dubsn osobennostistrukturyisvojstvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytijosaždennyhpvdvvčrazrâde AT turbinpv osobennostistrukturyisvojstvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytijosaždennyhpvdvvčrazrâde AT kirikgv osobennostistrukturyisvojstvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytijosaždennyhpvdvvčrazrâde AT šipilenkoap osobennostistrukturyisvojstvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytijosaždennyhpvdvvčrazrâde AT kylyškanovmk osobennostistrukturyisvojstvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytijosaždennyhpvdvvčrazrâde AT griŝenkovi osobennostistrukturyisvojstvtverdyhtialnisverhtverdyhtisinnanokompozitnyhpokrytijosaždennyhpvdvvčrazrâde |
| first_indexed |
2023-10-18T16:38:32Z |
| last_indexed |
2023-10-18T16:38:32Z |
| _version_ |
1796139512081940480 |
| spelling |
irk-123456789-78792010-04-21T12:02:19Z Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде Погребняк, А.Д. Береснев, В.М. Ильяшенко, М.В. Проценко, С.И. Дуб, С.Н. Турбин, П.В. Кирик, Г.В. Шипиленко, А.П. Кылышканов, М.К. Грищенко, В.И. Впервые с помощью различных методов (Резерфордовского обратного рассеяния ионов (RBS), сканирующей туннельной микроскопии (STM), растровой электронной микроскопии с микроанализом (SEM c EDS), дифракции рентгеновских лучей (XRD) включая скользящий пучок, измерения нанотвердости (Н), модуля упругости (Е)) проведены исследования нанокомпозитных покрытий на основе Ti-Al-N и Ti-Si-N, конденсированные в вакууме, ионноплазменным осаждением с ВЧ разрядом. Обнаружено то, что модуль упругости Е уменьшается от 420 ГПа до 323 ГПа при увеличении глубины вдавливания наноиндентора, а твердость Н изменяется с увеличением через максимум от 32,3 до 38,3 ГПа с последующим понижением до 30,3 ГПа, в случае твердого покрытия Ti-Al-N. В тоже время, зависимость твердости от нагрузки сверхтвердого покрытия Ti-Si-N уменьшается до 38,4 ГПа с увеличением глубины проникновения индентора, при уменьшении среднего значения модуля упругости от 447,5 до 363±17 ГПа. Строение нанокомпозитных твердых и сверхтвердых покрытий имеет свои особенности и зависит от состояния подложки, условий конденсации, состава фаз и размера их зерен. За допомогою різних методів (Резерфордівського зворотного розсіяння іонів (RBS), скануючої тунельної мікроскопії (STM), растрової електронної мікроскопії з мікроаналізом (SEM з EDS), дифракцію рентгенівських променів (XRD) включаючи ковзаючий пучок, вимірювання нанотвердості (Н), модуля пружності (Е)) досліджені нанокомпозитні покриття на основі Ti-Al-N і Ti-Si-N конденсовані у вакуумі, іонно-плазмовим осадженням з ВЧ розрядом. Виявлено, що модуль пружності Е зменшується від 420 ГПа до 323 ГПа при збільшенні глибини втискування наноіндентора, а твердість Н змінюється із збільшенням через максимум від 32,3 до 38,3 ГПа з подальшим пониженням до 30,3 ГПа, у разі твердого покриття Ti-Al-N. Разом з тим, залежність твердості від навантаження надтвердого покриття Ti-Si-N зменшується до 38,4 ГПа зі збільшенням глибини проникнення індентора, при зменшенні середнього значення модуля пружності від 447,5 до 363 ± 17 ГПа. Будова нанокомпозитних твердих і надтвердих покриттів має свої особливості і залежить від стану підкладки, умов конденсації, складу фаз та їх розміру зерен. For the first time, using the Rutherford Back-Scattering of Ions (RBS), scanning tunneling microscopy (STM), scanning electron microscopy with microanalysis (SEM with EDS), a diffraction of X-rays (XRD) including a sliding beam techniques, measurements of nanohardness (H), an elastic modulus (E) and values of elastic recreation (We), material resistance to a plastic deformation and a plasticity index, nanocomposite coatings on Ti-Al-N and Ti-Si-N basis, which were condensed in a vacuum using an ion-plasma deposition with the HF discharge were investigated. We found that the elastic modulus E decreased from 420 GPa to 323 with increasing indentation depth, the hardness H changed from 32.3 to 38.3 GPa first growing through its maximum and subsequently decreasing to 30.3 GPa for a hard coating Ti-Al-N. At the same time, hardness dependence on a load for a superhard Ti-Si-N coating decreased to 38.4 with increasing indentation depth under decreasing average value of the elastic modulus from 447.5 to 363 ± 17 GPa. A construction of nanocomposite hard and superhard coatings has its features and depends on a state of a substrate, conditions of a condensation, phase composition and grain dimensions. 2008 Article Особенности структуры и свойств твердых Ti-Al-N и сверхтвердых Ti-Si-N нанокомпозитных покрытий, осажденных PVD в ВЧ разряде / А.Д. Погребняк, В.М. Береснев, М.В. Ильяшенко, С.И. Проценко, С.Н. Дуб, П.В. Турбин, Г.В. Кирик, А.П. Шипиленко, М.К. Кылышканов, В.И. Грищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 3-4. — С. 221-227. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7879 620.178.1: 539.533 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |