Влияние гидродинамического режима на формирование каталитической кластерной структуры палладия на диэлектриках для различных систем химического осаждения

• Дата: 2008
• Автори: Калугин, В.Д., Бешенцева, О.А., Опалева, Н.С., Сидоренко, О.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2008
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7887
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Влияние гидродинамического режима на формирование каталитической кластерной структуры палладия на диэлектриках для различных систем химического осаждения / В.Д. Калугин, О.А. Бешенцева, Н.С. Опалева, О.В. Сидоренко // Физическая инженерия поверхности. — 2008. — Т. 6, № 3-4. — С. 164-170. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

В работе представлены результаты исследований по формированию макрокластерной структуры металлического палладия на поверхности диэлектрика (Д) в условиях конвективной диффузии и (или) гидродинамического массопереноса ионов Pd(II) в реакционную зону. Такие слои Pdº на Д используются для проведения каталитических реакций химической металлизации Д (Sn, Cu) и осаждения тонких слоев неметаллических покрытий (PbS, PbO2). Динамика изменения количества макрокластеров Pdº изучена косвенным методом (по данным кинетических исследований реакции химического осаждения олова и сульфида свинца). Установлено, что каталитически активные центры (КАЦ) из макрокластеров Pdº не разрушаются даже в условиях критического гидродинамического режима осаждения металла (Sn0) или неметаллических соединений (PbS). Показано, что увеличение количества КАЦ на Д возможно только в случае применения гидродинамического режима на стадии сенсибилизации (при раздельном активировании) или в совмещенном растворе активирования. Установлена общая закономерность: в реакциях химического осаждения с диффузи-онным контролем скорость реакции металлизации (VSn) c увеличением скорости вращения образца (ω >> 0) снижается до нуля, а в случае реакции с кинетическим контролем (VPbS) – остается постоянной в условиях ω >> 0. Выявлены условия существенного повышения актив-ности Pdº-кластерной структуры в растворах лужения.