The synthesis of TiAlN composites by condensation of the different arc plasma flows

• Дата: 2005
• Автори: Taran, V.S., Tereshin, V.I., Timoshenko, A.I., Chechel’nitskij, O.G., Kryshtal’, A.P.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2005
• Назва видання: Вопросы атомной науки и техники
• Теми: Low temperature plasma and plasma technologies
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79156
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: The synthesis of TiAlN composites by condensation of the different arc plasma flows / V.S. Taran, V.I. Tereshin, A.I. Timoshenko, O.G. Chechel’nitskij, A.P. Kryshtal’ // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 1. — С. 184-186. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.

Some properties of the arc-vapour deposited TiAlN films, obtained both – by condensation of the different and combined titanium and aluminium plasma flows, have been investigated. The different flows was provided by two arc evaporators with titanium and aluminium cathodes, at that, the aluminium pla...