Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода

В работе с помощью КР-, РФЭ-, электронной Оже-спектроскопии с ионным травлением и атомно-силовой микроскопии была изучена структура многослойных покрытий на аустенитной нержавеющей стали, которые формировались последовательным нанесением в одном технологическом цикле наноразмерных слоев титана и алм...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2009
Автори: Казаченко, В.П., Семченко, Н.И., Попов, А.Н.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7947
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода / В.П. Казаченко, Н.И. Семченко, А.Н. Попов // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 32-38. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-7947
record_format dspace
spelling irk-123456789-79472010-04-23T12:01:58Z Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода Казаченко, В.П. Семченко, Н.И. Попов, А.Н. В работе с помощью КР-, РФЭ-, электронной Оже-спектроскопии с ионным травлением и атомно-силовой микроскопии была изучена структура многослойных покрытий на аустенитной нержавеющей стали, которые формировались последовательным нанесением в одном технологическом цикле наноразмерных слоев титана и алмазоподобного углерода дуговым и импульсно-дуговым методом соответственно. Показано, что при формировании многослойного покрытия образовывались межфазные слои благодаря концентрационной и ионностимулированной диффузии, в основном, атомов углерода. Исследовано влияние температуры отжига на воздухе на структуру углеродной фазы и распределение химических элементов по толщине покрытия. У роботі за допомогою КР-, РФЕ-, електронної оже-спектроскопії з іонним травленням і атомносилової мікроскопії була вивчена структура багатошарових покриттів на аустенітній нержавіючій сталі, які формувалися послідовним нанесенням в одному технологічному циклі нанорозмірних шарів титану й алмазоподібного вуглецю дуговим та імпульсно-дуговим методом відповідно. Показано, що при формуванні багатошарового покриття утворювалися міжфазні шари завдяки концентраційній та іонно-стимульованій дифузії, в основному, атомів вуглецю. Досліджено вплив температури відпалу на повітрі на структуру вуглецевої фази й розподіл хімічних елементів за товщиною покриття. In this work the structure of the multilayer coatings on the austenitic stainless steel, which were formed by the successive titanium and carbon nanolayers deposition at one technological cycle by arc and pulsed arc methods correspondingly, was investigated by Raman scattering, XPS, Auger-electron spectroscopy and AFM methods. It was shown that interfacial layers formation during deposition of multilayer coating due to concentration and ionstimulated diffusion of carbon atoms were formed generally. It was explored the influence of the annealing temperature at air on carbone phase structure and on chemical elements distribution by coating thickness. 2009 Article Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода / В.П. Казаченко, Н.И. Семченко, А.Н. Попов // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 32-38. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7947 62-761: 620.22 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description В работе с помощью КР-, РФЭ-, электронной Оже-спектроскопии с ионным травлением и атомно-силовой микроскопии была изучена структура многослойных покрытий на аустенитной нержавеющей стали, которые формировались последовательным нанесением в одном технологическом цикле наноразмерных слоев титана и алмазоподобного углерода дуговым и импульсно-дуговым методом соответственно. Показано, что при формировании многослойного покрытия образовывались межфазные слои благодаря концентрационной и ионностимулированной диффузии, в основном, атомов углерода. Исследовано влияние температуры отжига на воздухе на структуру углеродной фазы и распределение химических элементов по толщине покрытия.
format Article
author Казаченко, В.П.
Семченко, Н.И.
Попов, А.Н.
spellingShingle Казаченко, В.П.
Семченко, Н.И.
Попов, А.Н.
Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода
author_facet Казаченко, В.П.
Семченко, Н.И.
Попов, А.Н.
author_sort Казаченко, В.П.
title Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода
title_short Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода
title_full Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода
title_fullStr Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода
title_full_unstemmed Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода
title_sort структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2009
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7947
citation_txt Структура покрытий, сформированных последовательным нанесением наноразмерных слоев титана и углерода / В.П. Казаченко, Н.И. Семченко, А.Н. Попов // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 32-38. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT kazačenkovp strukturapokrytijsformirovannyhposledovatelʹnymnaneseniemnanorazmernyhsloevtitanaiugleroda
AT semčenkoni strukturapokrytijsformirovannyhposledovatelʹnymnaneseniemnanorazmernyhsloevtitanaiugleroda
AT popovan strukturapokrytijsformirovannyhposledovatelʹnymnaneseniemnanorazmernyhsloevtitanaiugleroda
first_indexed 2023-10-18T16:38:42Z
last_indexed 2023-10-18T16:38:42Z
_version_ 1796139519319212032