Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора
Описан способ измерения толщины тонких (~0,5 мкг/см²) углеродных фольг в процессе их изготовления, основанный на применении кварцевого резонатора. Показано, что в условиях импульсного вакуумного распыления графита применение кварцевого резонатора со слабой зависимостью частоты от температуры позволя...
Збережено в:
| Дата: | 2002 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2002
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79500 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, А.Г. Нагорный, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 1. — С. 165-168. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-79500 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-795002015-04-03T03:02:04Z Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Нагорный, А.Г. Пустовойтов, С.А. Пленочные материалы и покрытия Описан способ измерения толщины тонких (~0,5 мкг/см²) углеродных фольг в процессе их изготовления, основанный на применении кварцевого резонатора. Показано, что в условиях импульсного вакуумного распыления графита применение кварцевого резонатора со слабой зависимостью частоты от температуры позволяет избавиться от влияния теплового излучения со стороны испарителя на уход частоты резонатора в процессе напыления и измерять толщину напыленного слоя с точностью ~5%. Получено хорошее согласие результатов измерения по кварцевому резонатору с данными по измерению углов многократного рассеяния протонов в углеродных фольгах. Описан спосіб вимірювання товщини тонких (~0,5 мкг/см²) вуглецевих фольг в процесі їх виготовлення, заснованний на застосуванні кварцевого резонатора. Показано, що в умовах імпульсного вакумного розпилювання графіту застосування кварцевого резонатора зі слабкою залежністю частоти від температури дозволяє збутися від впливу теплового випромінювання із сторони випарника на вихід частоти резонатора в процесі напилювання і виміряти товщину напилюванного шару із точністю ~5%. Отримано добре узгодження результатів вимірювання по кварцевому резонатору з данними по вимірюванню кутів багатократного розсіювання протонів у вуглецевих фольгах. The way of measurement of thickness thin (~0,5 mkg/cm²) carbon foils is described during their manufacturing grounded on applying of a quartz resonator. Is demonstrated, that in conditions of pulse vacuum sputtering of graphite the applying of quartz resonator with a weak dependence of frequency from temperature allows to be saved of influencing heat radiation on the part of the evaporator on oscillator drift of resonator during sputtering and to measure thickness of sputtering layer with accuracy ~5 %. The good accordance of measurement on the quartz resonator with the data on angular measurement of repeated dissipation of positive protons in carbon foils is obtained. 2002 Article Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, А.Г. Нагорный, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 1. — С. 165-168. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79500 539.23:621.373.42 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Пленочные материалы и покрытия Пленочные материалы и покрытия |
| spellingShingle |
Пленочные материалы и покрытия Пленочные материалы и покрытия Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Нагорный, А.Г. Пустовойтов, С.А. Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Описан способ измерения толщины тонких (~0,5 мкг/см²) углеродных фольг в процессе их изготовления, основанный на применении кварцевого резонатора. Показано, что в условиях импульсного вакуумного распыления графита применение кварцевого резонатора со слабой зависимостью частоты от температуры позволяет избавиться от влияния теплового излучения со стороны испарителя на уход частоты резонатора в процессе напыления и измерять толщину напыленного слоя с точностью ~5%. Получено хорошее согласие результатов измерения по кварцевому резонатору с данными по измерению углов многократного рассеяния протонов в углеродных фольгах. |
| format |
Article |
| author |
Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Нагорный, А.Г. Пустовойтов, С.А. |
| author_facet |
Батурин, В.А. Карпенко, А.Ю. Нагорный, А.Г. Пустовойтов, С.А. |
| author_sort |
Батурин, В.А. |
| title |
Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора |
| title_short |
Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора |
| title_full |
Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора |
| title_fullStr |
Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора |
| title_full_unstemmed |
Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора |
| title_sort |
измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2002 |
| topic_facet |
Пленочные материалы и покрытия |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79500 |
| citation_txt |
Измерение толщины тонких углеродных фольг методом кварцевого резонатора / В.А. Батурин, А.Ю. Карпенко, А.Г. Нагорный, С.А. Пустовойтов // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 1. — С. 165-168. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT baturinva izmerenietolŝinytonkihuglerodnyhfolʹgmetodomkvarcevogorezonatora AT karpenkoaû izmerenietolŝinytonkihuglerodnyhfolʹgmetodomkvarcevogorezonatora AT nagornyjag izmerenietolŝinytonkihuglerodnyhfolʹgmetodomkvarcevogorezonatora AT pustovojtovsa izmerenietolŝinytonkihuglerodnyhfolʹgmetodomkvarcevogorezonatora |
| first_indexed |
2023-10-18T19:18:51Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:18:51Z |
| _version_ |
1796146580681654272 |