Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики

Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних п...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2004
Автори:	Марченко, И.Г., Марченко, И.И., Неклюдов, И.М.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2004
Назва видання:	Вопросы атомной науки и техники
Теми:	Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79542
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 26-30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-79542
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-795422015-04-03T03:02:57Z Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних полостей. Установлено, что изменение шероховатости пленки связано с развитием структуры микротрещин: внутренние полости залегают под ними. Образование пор приводит к уменьшению плотности пленки по сравнению с объемной. Розроблено алгоритм визначення поверхневих атомів у сильно деформованих структурах. Методом молекулярної динаміки досліджено ріст плівок ніобія при вакуумному осаджені. Запропонований алгоритм застосовано для визначення шорсткості осаджених плівок і характеристик утворених внутрішніх порожнин. Установлено, що зміна шорсткості плівки пов’язана з розвитком структури “мініярків”. Внутрішні порожнини залягають під цими “мініярками”. Поява пор призводить до зменшення щільності плівок. The algorithm of surface atomic structure determine in high deformed materials is devised in this work. The Nb films growth was investigated by molecular dynamic simulation. The proposed algorithm was used for determination of films surface roughness and characteristics of inner voids. It was established that surface roughness changes connected with “mini ravine” structure development. Voids are situated under this “mini ravine”. The voids formation leads to decrease of films density. 2004 Article Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 26-30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79542 539.216:519.876.5 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
spellingShingle	Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики Вопросы атомной науки и техники
description	Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних полостей. Установлено, что изменение шероховатости пленки связано с развитием структуры микротрещин: внутренние полости залегают под ними. Образование пор приводит к уменьшению плотности пленки по сравнению с объемной.
format	Article
author	Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М.
author_facet	Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М.
author_sort	Марченко, И.Г.
title	Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
title_short	Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
title_full	Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
title_fullStr	Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
title_full_unstemmed	Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
title_sort	определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate	2004
topic_facet	Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79542
citation_txt	Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 26-30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
series	Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv	AT marčenkoig opredelenieatomnojstrukturypoverhnostitonkihplenokvmetodemolekulârnojdinamiki AT marčenkoii opredelenieatomnojstrukturypoverhnostitonkihplenokvmetodemolekulârnojdinamiki AT neklûdovim opredelenieatomnojstrukturypoverhnostitonkihplenokvmetodemolekulârnojdinamiki
first_indexed	2023-10-18T19:18:56Z
last_indexed	2023-10-18T19:18:56Z
_version_	1796146579722207232

Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики

Репозитарії

Схожі ресурси