2025-02-23T10:26:26-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-79542%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T10:26:26-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-79542%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T10:26:26-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T10:26:26-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики

Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики

Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних п...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Марченко, И.Г., Марченко, И.И., Неклюдов, И.М.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2004
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79542
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id irk-123456789-79542
record_format dspace
spelling irk-123456789-795422015-04-03T03:02:57Z Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних полостей. Установлено, что изменение шероховатости пленки связано с развитием структуры микротрещин: внутренние полости залегают под ними. Образование пор приводит к уменьшению плотности пленки по сравнению с объемной. Розроблено алгоритм визначення поверхневих атомів у сильно деформованих структурах. Методом молекулярної динаміки досліджено ріст плівок ніобія при вакуумному осаджені. Запропонований алгоритм застосовано для визначення шорсткості осаджених плівок і характеристик утворених внутрішніх порожнин. Установлено, що зміна шорсткості плівки пов’язана з розвитком структури “мініярків”. Внутрішні порожнини залягають під цими “мініярками”. Поява пор призводить до зменшення щільності плівок. The algorithm of surface atomic structure determine in high deformed materials is devised in this work. The Nb films growth was investigated by molecular dynamic simulation. The proposed algorithm was used for determination of films surface roughness and characteristics of inner voids. It was established that surface roughness changes connected with “mini ravine” structure development. Voids are situated under this “mini ravine”. The voids formation leads to decrease of films density. 2004 Article Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 26-30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79542 539.216:519.876.5 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
spellingShingle Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
Марченко, И.Г.
Марченко, И.И.
Неклюдов, И.М.
Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
Вопросы атомной науки и техники
description Разработан алгоритм определения поверхностных атомов в сильноискаженных структурах. Методом молекулярной динамики (ММД) исследован рост пленок ниобия при вакуумном осаждении. Предложенный алгоритм использован для определения шероховатости осаждаемой пленки и характеристик образующихся внутренних полостей. Установлено, что изменение шероховатости пленки связано с развитием структуры микротрещин: внутренние полости залегают под ними. Образование пор приводит к уменьшению плотности пленки по сравнению с объемной.
format Article
author Марченко, И.Г.
Марченко, И.И.
Неклюдов, И.М.
author_facet Марченко, И.Г.
Марченко, И.И.
Неклюдов, И.М.
author_sort Марченко, И.Г.
title Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
title_short Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
title_full Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
title_fullStr Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
title_full_unstemmed Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
title_sort определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2004
topic_facet Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79542
citation_txt Определение атомной структуры поверхности тонких пленок в методе молекулярной динамики / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2004. — № 3. — С. 26-30. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT marčenkoig opredelenieatomnojstrukturypoverhnostitonkihplenokvmetodemolekulârnojdinamiki
AT marčenkoii opredelenieatomnojstrukturypoverhnostitonkihplenokvmetodemolekulârnojdinamiki
AT neklûdovim opredelenieatomnojstrukturypoverhnostitonkihplenokvmetodemolekulârnojdinamiki
first_indexed 2023-10-18T19:18:56Z
last_indexed 2023-10-18T19:18:56Z
_version_ 1796146579722207232

Similar Items