Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена
Были рассмотрены вопросы вакуумно-дуговой очистки поверхности подложки путем бомбардировки ионами хрома и молибдена. Показано, что очистка поверхности ионами этих металлов более эффективна, чем ионами титана или циркония....
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7957 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена / В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 90-95. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-7957 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-79572010-04-23T12:02:06Z Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена Столбовой, В.А. Были рассмотрены вопросы вакуумно-дуговой очистки поверхности подложки путем бомбардировки ионами хрома и молибдена. Показано, что очистка поверхности ионами этих металлов более эффективна, чем ионами титана или циркония. Були розглянуті питання вакуумно-дугового очищення поверхні підкладинки шляхом бомбардування іонами хрому і молібдену. Показано, що очищення поверхні іонами цих металів ефективніше, ніж іонами титану або цирконію. The questions of the vacuum-arc cleaning of surface of substrates were considered by bombardment the ions of chrome and molybdenum. It is rotined that cleaning of surface is more effective the ions of these metals, than by the ions of titan or zirconium. 2009 Article Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена / В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 90-95. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7957 621.793.7 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Были рассмотрены вопросы вакуумно-дуговой очистки поверхности подложки путем бомбардировки ионами хрома и молибдена. Показано, что очистка поверхности ионами этих металлов более эффективна, чем ионами титана или циркония. |
| format |
Article |
| author |
Столбовой, В.А. |
| spellingShingle |
Столбовой, В.А. Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена |
| author_facet |
Столбовой, В.А. |
| author_sort |
Столбовой, В.А. |
| title |
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена |
| title_short |
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена |
| title_full |
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена |
| title_fullStr |
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена |
| title_full_unstemmed |
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена |
| title_sort |
вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2009 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7957 |
| citation_txt |
Вакуумно-дуговое распыление поверхности подложки ионами хрома и молибдена / В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 90-95. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT stolbovojva vakuumnodugovoeraspyleniepoverhnostipodložkiionamihromaimolibdena |
| first_indexed |
2023-10-18T16:38:44Z |
| last_indexed |
2023-10-18T16:38:44Z |
| _version_ |
1796139520279707648 |