Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий
В работе показана возможность и целесообразность дополнительного повышения прочностных (микротвердость) и служебных (эрозионный износ) характеристик композитов “подложкаконденсат” (на примере нержавеющей стали с TiN покрытием) путем использования эффекта глубинной модификации их свойств облучением п...
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7965 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 133-141. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | В работе показана возможность и целесообразность дополнительного повышения прочностных (микротвердость) и служебных (эрозионный износ) характеристик композитов “подложкаконденсат” (на примере нержавеющей стали с TiN покрытием) путем использования эффекта глубинной модификации их свойств облучением плазмой низкоэнергетического тлеющего разряда, горящего в нестабильном режиме ВЧ-колебаний падения катодного потенциала в процессе вакуумно-дугового осаждения как на начальной стадии – ионной очистки при Т ≤ 100 °С (вместо стандартного использования аномального тлеющего разряда), так и/или после завершения процесса конденсации. |
|---|