Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий
В работе показана возможность и целесообразность дополнительного повышения прочностных (микротвердость) и служебных (эрозионный износ) характеристик композитов “подложкаконденсат” (на примере нержавеющей стали с TiN покрытием) путем использования эффекта глубинной модификации их свойств облучением п...
Збережено в:
Дата: | 2009 |
---|---|
Автори: | , , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7965 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 133-141. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-7965 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-79652010-04-23T12:01:38Z Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Картмазов, Г.Н. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. В работе показана возможность и целесообразность дополнительного повышения прочностных (микротвердость) и служебных (эрозионный износ) характеристик композитов “подложкаконденсат” (на примере нержавеющей стали с TiN покрытием) путем использования эффекта глубинной модификации их свойств облучением плазмой низкоэнергетического тлеющего разряда, горящего в нестабильном режиме ВЧ-колебаний падения катодного потенциала в процессе вакуумно-дугового осаждения как на начальной стадии – ионной очистки при Т ≤ 100 °С (вместо стандартного использования аномального тлеющего разряда), так и/или после завершения процесса конденсации. У роботі показана можливість та доцільність додаткового підвищення мiцностi (мікротвердість) і службових (ерозійне зношування) характеристик композитів “підкладка-конденсат” (на прикладі нержавіючої сталі з TiN покриттям) шляхом використання ефекту глибинного модифікування їхніх властивостей опроміненням плазмою низкоэнергетичного тліючого розряду, що горить у нестабільному режимі ВЧ коливань падіння катодного потенціалу у процесі вакуумно-дугового осадження як на початковій стадії – іонного очищення при Т ≤ 100 °С (замість стандартного використання аномального тліючого розряду), так й/або після завершення процесу конденсації. In work the expediency of additional increase strengses (microhardness) and service (erosive deterioration) characteristics of composites “substrate-condensate” (is shown also by the example of stainless steel with TiN a covering) by use of effect of deep updating their properties by an irradiation by plasma of the low-energy glow-discharge burning in an astable mode of RF-fluctuations of falling of cathodic potential during vacuum-arc deposition as at an initial stage – ionic clearing at Т ≤ 100 °С (instead of standard use of the abnormal glow-discharge), and/or after end of process of condensation. 2009 Article Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 133-141. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7965 621.793.72; 629.193.6; 620.18 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
description |
В работе показана возможность и целесообразность дополнительного повышения прочностных (микротвердость) и служебных (эрозионный износ) характеристик композитов “подложкаконденсат” (на примере нержавеющей стали с TiN покрытием) путем использования эффекта глубинной модификации их свойств облучением плазмой низкоэнергетического тлеющего разряда, горящего в нестабильном режиме ВЧ-колебаний падения катодного потенциала в процессе вакуумно-дугового осаждения как на начальной стадии – ионной очистки при Т ≤ 100 °С (вместо стандартного использования аномального тлеющего разряда), так и/или после завершения процесса конденсации. |
format |
Article |
author |
Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Картмазов, Г.Н. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. |
spellingShingle |
Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Картмазов, Г.Н. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
author_facet |
Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Картмазов, Г.Н. Белоус, В.А. Толмачева, Г.Н. |
author_sort |
Кунченко, Ю.В. |
title |
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
title_short |
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
title_full |
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
title_fullStr |
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
title_full_unstemmed |
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
title_sort |
влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий |
publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
publishDate |
2009 |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7965 |
citation_txt |
Влияние нестабильного, низкоэнергетического тлеющего разряда на свойства облучаемых материалов в процессе вакуумно-дугового осажднния покрытий / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко, Г.Н. Картмазов, В.А. Белоус, Г.Н. Толмачева // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 1-2. — С. 133-141. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |
work_keys_str_mv |
AT kunčenkoûv vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvojstvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytij AT kunčenkovv vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvojstvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytij AT kartmazovgn vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvojstvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytij AT belousva vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvojstvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytij AT tolmačevagn vliânienestabilʹnogonizkoénergetičeskogotleûŝegorazrâdanasvojstvaoblučaemyhmaterialovvprocessevakuumnodugovogoosaždnniâpokrytij |
first_indexed |
2023-10-18T16:38:45Z |
last_indexed |
2023-10-18T16:38:45Z |
_version_ |
1796139521241251840 |