The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge
The dependence of ionization frequency in a stationary radio-frequency microdischarge on plasma density and DC voltage applied to the discharge plasma is found. Calculation is fulfilled for a plane geometry in assumption of uniformity of radio-frequency electric field.
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2005
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79798 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge / N.A. Bogatov // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 191-193. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-79798 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-797982015-04-05T03:02:30Z The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge Bogatov, N.A. Low temperature plasma and plasma technologies The dependence of ionization frequency in a stationary radio-frequency microdischarge on plasma density and DC voltage applied to the discharge plasma is found. Calculation is fulfilled for a plane geometry in assumption of uniformity of radio-frequency electric field. Розрахована залежність частоти іонізації в стаціонарному високочастотному мікророзряді від концентрації плазми і постійної напруги, прикладеної до плазми розряду. Розрахунок виконаний для плоскої геометрії в припущенні однорідності високочастотного поля. Рассчитана зависимость частоты ионизации в стационарном высокочастотном микроразряде от концентрации плазмы и постоянного напряжения, приложенного к плазме разряда. Расчет выполнен для плоской геометрии в предположении однородности высокочастотного поля. 2005 Article The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge / N.A. Bogatov // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 191-193. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.P http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79798 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Bogatov, N.A. The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge Вопросы атомной науки и техники |
| description |
The dependence of ionization frequency in a stationary radio-frequency microdischarge on plasma density and DC voltage applied to the discharge plasma is found. Calculation is fulfilled for a plane geometry in assumption of uniformity of radio-frequency electric field. |
| format |
Article |
| author |
Bogatov, N.A. |
| author_facet |
Bogatov, N.A. |
| author_sort |
Bogatov, N.A. |
| title |
The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge |
| title_short |
The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge |
| title_full |
The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge |
| title_fullStr |
The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge |
| title_full_unstemmed |
The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge |
| title_sort |
influence of a dc electric field on the radio-frequency microdischarge |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2005 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79798 |
| citation_txt |
The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge / N.A. Bogatov // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 191-193. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT bogatovna theinfluenceofadcelectricfieldontheradiofrequencymicrodischarge AT bogatovna influenceofadcelectricfieldontheradiofrequencymicrodischarge |
| first_indexed |
2023-10-18T19:19:31Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:19:31Z |
| _version_ |
1796146608580067328 |