Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6

Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6

Данная работа посвящена экспериментальному изучению влияния высокочастотного электрического поля на радиальные зависимости плотности тока ионов разряда постоянного тока, а также постоянного напряжения на радиальные зависимости плотности тока высокочастотного разряда. В разрядной камере, содержащей э...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Видавець:Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Дата:2009
Автори: Лисовский, В.А., Харченко, Н.Д.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7981
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Цитувати:Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6 / В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 204-209. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Репозиторії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-7981
record_format dspace
spelling irk-123456789-79812010-04-26T12:01:20Z Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6 Лисовский, В.А. Харченко, Н.Д. Данная работа посвящена экспериментальному изучению влияния высокочастотного электрического поля на радиальные зависимости плотности тока ионов разряда постоянного тока, а также постоянного напряжения на радиальные зависимости плотности тока высокочастотного разряда. В разрядной камере, содержащей электрод с коллекторами, экспериментально измерены радиальные зависимости плотности ионного тока продольного комбинированного разряда (высокочастотное и постоянное электрическое поля прикладываются к одним и тем же электродам) для разных давлений SF6, а также вольтамперные характеристики разряда. Определены оптимальные условия для проведения технологических процессов, используя комбинированный разряд в SF6. Цю роботу присвячено експериментальному вивченню впливу високочастотного електричного поля на радіальні залежності густини струму іонів розряду постійного струму, а також постійної напруги на радіальні залежності густини струму високочастотного розряду. В розрядній камері, що містить у собі катод з колекторами, були експериментально виміряні радіальні залежності густини струму поздовжнього комбінованого розряду (високочастотне та постійне електричні поля прикладались до одних і тих самих електродів) для різних тисків SF6, а також вольтамперні характеристики розряду. Визначені оптимальні умови для проведення технологічних процесів, що використовують розряд в SF6. This work is devoted to experimental study of the radio frequency (RF) electric field influence to the radial ion current density profiles of the direct current (DC) discharge, and the DC voltage influence to the radial ion current density profiles of the RF discharge. In the discharge chamber, which includes electrode with collectors radial ion current density profiles of the longitudinal combined discharge (RF and DC electric fields were applied to the same electrodes) were measured experimentally for different SF6 pressures, and also current-voltage characteristics of the discharge were obtained. The optimal conditions for plasma technologies using combined discharge in SF6 were defined. 2009 Article Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6 / В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 204-209. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7981 529.23 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Данная работа посвящена экспериментальному изучению влияния высокочастотного электрического поля на радиальные зависимости плотности тока ионов разряда постоянного тока, а также постоянного напряжения на радиальные зависимости плотности тока высокочастотного разряда. В разрядной камере, содержащей электрод с коллекторами, экспериментально измерены радиальные зависимости плотности ионного тока продольного комбинированного разряда (высокочастотное и постоянное электрическое поля прикладываются к одним и тем же электродам) для разных давлений SF6, а также вольтамперные характеристики разряда. Определены оптимальные условия для проведения технологических процессов, используя комбинированный разряд в SF6.
format Article
author Лисовский, В.А.
Харченко, Н.Д.
spellingShingle Лисовский, В.А.
Харченко, Н.Д.
Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6
author_facet Лисовский, В.А.
Харченко, Н.Д.
author_sort Лисовский, В.А.
title Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6
title_short Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6
title_full Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6
title_fullStr Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6
title_full_unstemmed Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6
title_sort радиальная структура продольного комбинированного разряда в sf6
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2009
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7981
citation_txt Радиальная структура продольного комбинированного разряда в SF6 / В.А. Лисовский, Н.Д. Харченко // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 204-209. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT lisovskijva radialʹnaâstrukturaprodolʹnogokombinirovannogorazrâdavsf6
AT harčenkond radialʹnaâstrukturaprodolʹnogokombinirovannogorazrâdavsf6
first_indexed 2023-10-18T16:38:48Z
last_indexed 2023-10-18T16:38:48Z
_version_ 1796139522952527872

Схожі ресурси