Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях
У цьому огляді наводяться результати наукових досліджень та прикладних розробок, виконаних у ХНУ імени В.Н. Каразіна НФТЦ МОН та НАН України з середини 70-х років до початку 90-х у галузі фізичних основ плазмових технологій для мікроелектроніки....
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2009
|
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7984 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях / В.І. Фаренік // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 166-170. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-7984 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-79842010-04-26T12:01:23Z Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях Фаренік, В.І. У цьому огляді наводяться результати наукових досліджень та прикладних розробок, виконаних у ХНУ імени В.Н. Каразіна НФТЦ МОН та НАН України з середини 70-х років до початку 90-х у галузі фізичних основ плазмових технологій для мікроелектроніки. В этом обзоре приводятся результаты научных исследований и прикладных разработок, выполненных в ХНУ имени В.Н. Каразина и НФТЦ МОН и НАН Украины с середины 70-х годов до начала 90-х в области физических основ плазменных технологий для микроэлектроники. In this review the findings of research investigations and applied developments made in both V.N. Karazin KNU and SCPT MES & NAS Ukraine from the end 70 up to the end 90 in the field of a basic physics of plasma technologies for micro- and nanoelectronics are presented. 2009 Article Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях / В.І. Фаренік // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 166-170. — укр. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7984 539.23 uk Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| description |
У цьому огляді наводяться результати наукових досліджень та прикладних розробок, виконаних у ХНУ імени В.Н. Каразіна НФТЦ МОН та НАН України з середини 70-х років до початку 90-х у галузі фізичних основ плазмових технологій для мікроелектроніки. |
| format |
Article |
| author |
Фаренік, В.І. |
| spellingShingle |
Фаренік, В.І. Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях |
| author_facet |
Фаренік, В.І. |
| author_sort |
Фаренік, В.І. |
| title |
Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях |
| title_short |
Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях |
| title_full |
Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях |
| title_fullStr |
Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях |
| title_full_unstemmed |
Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях |
| title_sort |
малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2009 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7984 |
| citation_txt |
Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях / В.І. Фаренік // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 166-170. — укр. |
| work_keys_str_mv |
AT fareníkví maloenergoêmníplazmovítehnologíčnísistemizrozrâdamiukombínovanihelektričnomutamagnítnomupolâh |
| first_indexed |
2023-10-18T16:38:48Z |
| last_indexed |
2023-10-18T16:38:48Z |
| _version_ |
1796139523276537856 |