Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения....
Збережено в:
| Видавець: | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2014 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79940 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Ю.И. Велиев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 180-183. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-79940 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-799402015-04-10T03:01:58Z Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов Азаренков, Н.А. Литовченко, С.В. Береснев, В.М. Чишкала, В.А. Велиев, Ю.И. Физика и технология конструкционных материалов Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения. Вивчено особливості формування силіцидних плівок на молібдені при конденсації інгредієнтів, отриманих випаровуванням або розпиленням чистих дісиліцидних компонентів. Проаналізована морфологія і склад отриманих конденсатів залежно від технологічних параметрів процесу осадження. The features of the silicide films’ formation on molybdenum interface under the condensation of ingredients, which are obtained in evaporation or sputtering of pure disilicide components, are studied. The morphology and composition of the condensates obtained are analyzed in dependence on the technological parameters of the deposition process. 2014 Article Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Ю.И. Велиев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 180-183. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79940 538.9:539.231:621.793 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Физика и технология конструкционных материалов Физика и технология конструкционных материалов |
| spellingShingle |
Физика и технология конструкционных материалов Физика и технология конструкционных материалов Азаренков, Н.А. Литовченко, С.В. Береснев, В.М. Чишкала, В.А. Велиев, Ю.И. Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения. |
| format |
Article |
| author |
Азаренков, Н.А. Литовченко, С.В. Береснев, В.М. Чишкала, В.А. Велиев, Ю.И. |
| author_facet |
Азаренков, Н.А. Литовченко, С.В. Береснев, В.М. Чишкала, В.А. Велиев, Ю.И. |
| author_sort |
Азаренков, Н.А. |
| title |
Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов |
| title_short |
Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов |
| title_full |
Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов |
| title_fullStr |
Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов |
| title_full_unstemmed |
Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов |
| title_sort |
конденсация силицидных пленок из чистых компонентов |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2014 |
| topic_facet |
Физика и технология конструкционных материалов |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79940 |
| citation_txt |
Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Ю.И. Велиев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 180-183. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT azarenkovna kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov AT litovčenkosv kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov AT beresnevvm kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov AT čiškalava kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov AT velievûi kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov |
| first_indexed |
2023-10-18T19:19:50Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:19:50Z |
| _version_ |
1796146623371280384 |