2025-02-22T21:22:26-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-79940%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-22T21:22:26-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-79940%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-22T21:22:26-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK

2025-02-22T21:22:26-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов

Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения....

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Main Authors:	Азаренков, Н.А., Литовченко, С.В., Береснев, В.М., Чишкала, В.А., Велиев, Ю.И.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
Series:	Вопросы атомной науки и техники
Subjects:	Физика и технология конструкционных материалов
Online Access:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79940
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

id	irk-123456789-79940
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-799402015-04-10T03:01:58Z Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов Азаренков, Н.А. Литовченко, С.В. Береснев, В.М. Чишкала, В.А. Велиев, Ю.И. Физика и технология конструкционных материалов Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения. Вивчено особливості формування силіцидних плівок на молібдені при конденсації інгредієнтів, отриманих випаровуванням або розпиленням чистих дісиліцидних компонентів. Проаналізована морфологія і склад отриманих конденсатів залежно від технологічних параметрів процесу осадження. The features of the silicide films’ formation on molybdenum interface under the condensation of ingredients, which are obtained in evaporation or sputtering of pure disilicide components, are studied. The morphology and composition of the condensates obtained are analyzed in dependence on the technological parameters of the deposition process. 2014 Article Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Ю.И. Велиев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 180-183. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79940 538.9:539.231:621.793 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Физика и технология конструкционных материалов Физика и технология конструкционных материалов
spellingShingle	Физика и технология конструкционных материалов Физика и технология конструкционных материалов Азаренков, Н.А. Литовченко, С.В. Береснев, В.М. Чишкала, В.А. Велиев, Ю.И. Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов Вопросы атомной науки и техники
description	Изучены особенности формирования силицидных пленок на молибдене при конденсации ингредиентов, полученных испарением или распылением чистых дисилицидных компонентов. Проанализирована морфология и состав полученных конденсатов в зависимости от технологических параметров процесса осаждения.
format	Article
author	Азаренков, Н.А. Литовченко, С.В. Береснев, В.М. Чишкала, В.А. Велиев, Ю.И.
author_facet	Азаренков, Н.А. Литовченко, С.В. Береснев, В.М. Чишкала, В.А. Велиев, Ю.И.
author_sort	Азаренков, Н.А.
title	Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
title_short	Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
title_full	Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
title_fullStr	Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
title_full_unstemmed	Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
title_sort	конденсация силицидных пленок из чистых компонентов
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate	2014
topic_facet	Физика и технология конструкционных материалов
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79940
citation_txt	Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов / Н.А. Азаренков, С.В. Литовченко, В.М. Береснев, В.А. Чишкала, Ю.И. Велиев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 1. — С. 180-183. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
series	Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv	AT azarenkovna kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov AT litovčenkosv kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov AT beresnevvm kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov AT čiškalava kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov AT velievûi kondensaciâsilicidnyhplenokizčistyhkomponentov
first_indexed	2023-10-18T19:19:50Z
last_indexed	2023-10-18T19:19:50Z
_version_	1796146623371280384

Конденсация силицидных пленок из чистых компонентов

Similar Items