Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»

Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»

Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверхности ука...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2014
Автори: Торяник, И.Н., Грудницкий, В.В., Береснев, В.М., Соболь, О.В., Литовченко, C.В., Турбин, П.В., Сердюк, И.В., Гончаров, И.Ю.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина;Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79952
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» / И.Н. Торяник, В.В. Грудницкий, В.М. Береснев, О.В. Соболь, C.В. Литовченко, П.В. Турбин, И.В. Сердюк, И.Ю. Гончаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 149-152. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-79952
record_format dspace
spelling irk-123456789-799522015-04-10T03:02:01Z Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» Торяник, И.Н. Грудницкий, В.В. Береснев, В.М. Соболь, О.В. Литовченко, C.В. Турбин, П.В. Сердюк, И.В. Гончаров, И.Ю. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверхности указанных покрытий. Предложено объяснение полученных зависимостей с позиции физики диффузионных процессов при высокотемпературном воздействии на сложную систему «(Ti, Hf)N-покрытие–Si-подложка». Вивчено закономірності змінювання елементного складу і морфології поверхні за умов температурного впливу в системі, що складається із покриття на основі твердого розчину (Ti, Hf)N і кремнієвої підкладинки. Визначено характерні особливості розподілу елементів за глибиною і морфології поверхні зазначених покриттів. Запропоновано пояснення отриманих залежностей з позиції фізики дифузійних процесів при високотемпературному впливі на складну систему «(Ti, Hf)N-покриття–Si-підкладинка». The regularities of variation of the elemental composition and morphology of the surface under conditions of thermal effects in a system consisting of a coating based solid solution (Ti, Hf)N and Si substrate. Characteristic features of the distribution of elements in the depth and surface morphology of these coatings. An explanation of the obtained dependences of the positions physics of diffusion processes at high impact on the complex system «(Ti, Hf)N-coating–Si-substrate». 2014 Article Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» / И.Н. Торяник, В.В. Грудницкий, В.М. Береснев, О.В. Соболь, C.В. Литовченко, П.В. Турбин, И.В. Сердюк, И.Ю. Гончаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 149-152. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79952 621.715.539.376 ru Вопросы атомной науки и техники Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина;Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
spellingShingle Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Торяник, И.Н.
Грудницкий, В.В.
Береснев, В.М.
Соболь, О.В.
Литовченко, C.В.
Турбин, П.В.
Сердюк, И.В.
Гончаров, И.Ю.
Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
Вопросы атомной науки и техники
description Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверхности указанных покрытий. Предложено объяснение полученных зависимостей с позиции физики диффузионных процессов при высокотемпературном воздействии на сложную систему «(Ti, Hf)N-покрытие–Si-подложка».
format Article
author Торяник, И.Н.
Грудницкий, В.В.
Береснев, В.М.
Соболь, О.В.
Литовченко, C.В.
Турбин, П.В.
Сердюк, И.В.
Гончаров, И.Ю.
author_facet Торяник, И.Н.
Грудницкий, В.В.
Береснев, В.М.
Соболь, О.В.
Литовченко, C.В.
Турбин, П.В.
Сердюк, И.В.
Гончаров, И.Ю.
author_sort Торяник, И.Н.
title Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
title_short Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
title_full Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
title_fullStr Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
title_full_unstemmed Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
title_sort температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (ti, hf)n−подложка si»
publisher Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина;Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2014
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79952
citation_txt Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» / И.Н. Торяник, В.В. Грудницкий, В.М. Береснев, О.В. Соболь, C.В. Литовченко, П.В. Турбин, И.В. Сердюк, И.Ю. Гончаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 149-152. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT torânikin temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT grudnickijvv temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT beresnevvm temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT sobolʹov temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT litovčenkocv temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT turbinpv temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT serdûkiv temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
AT gončaroviû temperaturnoevliânienaraspredelenieélementovimorfologiûpoverhnostivsistemepokrytietihfnpodložkasi
first_indexed 2023-10-18T19:19:52Z
last_indexed 2023-10-18T19:19:52Z
_version_ 1796146624650543104

Схожі ресурси