Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si»
Изучены закономерности изменения элементного состава и морфологии поверхности при температурном воздействии в системе, состоящей из покрытия на основе твердого раствора (Ti, Hf)N и кремниевой подложки. Определены характерные особенности распределения элементов по глубине и морфологии поверхности ука...
Gespeichert in:
| Datum: | 2014 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина;Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Schriftenreihe: | Вопросы атомной науки и техники |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79952 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Температурное влияние на распределение элементов и морфологию поверхности в системе «покрытие (Ti, Hf)N−подложка Si» / И.Н. Торяник, В.В. Грудницкий, В.М. Береснев, О.В. Соболь, C.В. Литовченко, П.В. Турбин, И.В. Сердюк, И.Ю. Гончаров // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 149-152. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |