Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах
Исследовано влияние имплантированных ионов дейтерия на кристаллическую структуру Тi и структурные изменения в облученных образцах, вызываемых высокотемпературным отжигом. Показано, что имплантация дейтерия в титан приводит к структурным изменениям в имплантированном слое и что природа структурного п...
Збережено в:
| Дата: | 2002 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2002
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80085 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах / А.Н. Морозов, И.М. Неклюдов, В.Ф. Рыбалко, В.Г. Кулиш // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 3. — С. 58-63. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-80085 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-800852015-04-12T03:01:51Z Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах Морозов, А.Н. Неклюдов, И.М. Рыбалко, В.Ф. Кулиш, В.Г. Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Исследовано влияние имплантированных ионов дейтерия на кристаллическую структуру Тi и структурные изменения в облученных образцах, вызываемых высокотемпературным отжигом. Показано, что имплантация дейтерия в титан приводит к структурным изменениям в имплантированном слое и что природа структурного перехода чисто химическая, а структурный переход обусловлен образованием гидрида титана TiD₂. Высокотемпературный отжиг облученных пленок приводит к разложению гидрида TiD₂, возникшего в результате ионной имплантации. Процесс разложения начинается при температуре ~500 K и заканчивается при температуре ~600 K при достаточной длительности отжига. Досліджувано вплив імплантованих іонів дейтерію на кристалічну структуру Тi та структурні зміни в опромінених зразках, що викликаються відпалом. Показано, що імплантація дейтерію в титан приводить до структурних змін у імплантованому шару і що природа структурного переходу чисто хімічна, а структурний перехід обумовлений утворенням гидрида титана TiD₂. Відпал опромінених плівок призводить до розкладання гидрида TiD₂, що виникнуло в результаті іонної імплантації. Процес розкладання починається при температурі ~500 K і закінчується при температурі ~600 K при достатній тривалості відпалу. Bombardment of Ti with a deuterium ion beam has revealed that the implantation into titanium leads to structural transformations in the implanted layer. It was shown that the nature of structural transformation was purely chemical, and the structural transition was due to the formation of titanium hydride TiD₂. A high-temperature annealing of irradiated films leads to the disintegration of TiD₂ which was formed as a result of ion implantation. The process of decomposition starts at a temperature of ~500 K and ends at ~600 K with a sufficient duration of heating. 2002 Article Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах / А.Н. Морозов, И.М. Неклюдов, В.Ф. Рыбалко, В.Г. Кулиш // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 3. — С. 58-63. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80085 548.3: 539.25 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| spellingShingle |
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах Морозов, А.Н. Неклюдов, И.М. Рыбалко, В.Ф. Кулиш, В.Г. Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Исследовано влияние имплантированных ионов дейтерия на кристаллическую структуру Тi и структурные изменения в облученных образцах, вызываемых высокотемпературным отжигом. Показано, что имплантация дейтерия в титан приводит к структурным изменениям в имплантированном слое и что природа структурного перехода чисто химическая, а структурный переход обусловлен образованием гидрида титана TiD₂. Высокотемпературный отжиг облученных пленок приводит к разложению гидрида TiD₂, возникшего в результате ионной имплантации. Процесс разложения начинается при температуре ~500 K и заканчивается при температуре ~600 K при достаточной длительности отжига. |
| format |
Article |
| author |
Морозов, А.Н. Неклюдов, И.М. Рыбалко, В.Ф. Кулиш, В.Г. |
| author_facet |
Морозов, А.Н. Неклюдов, И.М. Рыбалко, В.Ф. Кулиш, В.Г. |
| author_sort |
Морозов, А.Н. |
| title |
Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах |
| title_short |
Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах |
| title_full |
Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах |
| title_fullStr |
Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах |
| title_full_unstemmed |
Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах |
| title_sort |
структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2002 |
| topic_facet |
Физика радиационных повреждений и явлений в твердых телах |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80085 |
| citation_txt |
Структурные превращения в титане при имплантации ионов дейтерия и постимплантационных отжигах / А.Н. Морозов, И.М. Неклюдов, В.Ф. Рыбалко, В.Г. Кулиш // Вопросы атомной науки и техники. — 2002. — № 3. — С. 58-63. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT morozovan strukturnyeprevraŝeniâvtitanepriimplantaciiionovdejteriâipostimplantacionnyhotžigah AT neklûdovim strukturnyeprevraŝeniâvtitanepriimplantaciiionovdejteriâipostimplantacionnyhotžigah AT rybalkovf strukturnyeprevraŝeniâvtitanepriimplantaciiionovdejteriâipostimplantacionnyhotžigah AT kulišvg strukturnyeprevraŝeniâvtitanepriimplantaciiionovdejteriâipostimplantacionnyhotžigah |
| first_indexed |
2023-10-18T19:20:11Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:20:11Z |
| _version_ |
1796146638975139840 |