Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах
Методами математического моделирования исследованы процессы образования азотированых слоев в сплавах под воздействием низкоэнергетичных ионных потоков. Показано, что изменение концентрации азота в образцах обусловливается процессами распыления поверхности и термической диффузии имплантированных ионо...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80235 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 182-184. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-80235 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-802352015-04-14T03:02:20Z Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Методами математического моделирования исследованы процессы образования азотированых слоев в сплавах под воздействием низкоэнергетичных ионных потоков. Показано, что изменение концентрации азота в образцах обусловливается процессами распыления поверхности и термической диффузии имплантированных ионов газа с их захватом растворенными атомами примеси. Полученные зависимости глубины проникновения азота в аустенитную сталь хорошо коррелируют с имеющимися экспериментальными данными. Показано, что для различных условий ионной обработки существует оптимальное значение ионного тока, которое позволяет проводить процесс ионного азотирования с минимальными затратами. Методами математичного моделювання досліджені процеси формування азотованих шарів у сплавах під впливом низькоенергетичних іонних потоків. Показано що зміна концентрації азоту у матеріалах обумовлена процесами розпилу поверхні та термічної дифузії імплантованих іонів з подальшим їх захватом розчиненими атомами домішок. Отримані залежності глибини проникнення азоту у аустенітну сталь гарно корелюють з отриманими експериментальними даними. Показано, що для різних умов іонної обробки існує оптимальне значення іонного току, яке дозволяє проводити процесс іонного азотування з мінімальними затратами. A computer simulation of alloys ion nitriding has been developed. The nitration rate of steel surface layers has been estimated at various temperatures and ion current densities. The obtained data on the ion penetration are in a good agreement with the current experimental data. It is revealed that for various ion treatment conditions there is an optimum ion current value, by which the losses of the ion nitration are minimum. 2006 Article Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 182-184. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1562-6016 УДК 621.384.6 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80235 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| spellingShingle |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Методами математического моделирования исследованы процессы образования азотированых слоев в сплавах под воздействием низкоэнергетичных ионных потоков. Показано, что изменение концентрации азота в образцах обусловливается процессами распыления поверхности и термической диффузии имплантированных ионов газа с их захватом растворенными атомами примеси. Полученные зависимости глубины проникновения азота в аустенитную сталь хорошо коррелируют с имеющимися экспериментальными данными. Показано, что для различных условий ионной обработки существует оптимальное значение ионного тока, которое позволяет проводить процесс ионного азотирования с минимальными затратами. |
| format |
Article |
| author |
Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. |
| author_facet |
Марченко, И.Г. Марченко, И.И. Неклюдов, И.М. |
| author_sort |
Марченко, И.Г. |
| title |
Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах |
| title_short |
Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах |
| title_full |
Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах |
| title_fullStr |
Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах |
| title_full_unstemmed |
Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах |
| title_sort |
высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2006 |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80235 |
| citation_txt |
Высокодозовая низкоэнергетичная ионная имплантация азота в сплавах / И.Г. Марченко, И.И. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 182-184. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT marčenkoig vysokodozovaânizkoénergetičnaâionnaâimplantaciâazotavsplavah AT marčenkoii vysokodozovaânizkoénergetičnaâionnaâimplantaciâazotavsplavah AT neklûdovim vysokodozovaânizkoénergetičnaâionnaâimplantaciâazotavsplavah |
| first_indexed |
2023-10-18T19:20:31Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:20:31Z |
| _version_ |
1796146653949853696 |