Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия

Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия

С помощью электронной микроскопии поперечных срезов и малоугловой рентгеновской дифрактометрии исследованы начальные стадии ионно-лучевого перемешивания в многослойных периодических композициях Mo/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия с энергией 40 кэВ. Показано отсутствие перемешивания в фазово...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2006
Автори: Пеньков, А.В., Зубарев, Е.Н., Польцева, О.В., Пономаренко, А.Г., Кондратенко, В.В., Бобков, В.В., Перегон, Т.И., Тищенко, Л.П.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80237
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия / А.В. Пеньков, Е.Н. Зубарев, О.В. Польцева, А.Г. Пономаренко, В.В. Кондратенко, В.В. Бобков, Т.И. Перегон, Л.П. Тищенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 157-163. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-80237
record_format dspace
spelling irk-123456789-802372015-04-14T03:02:27Z Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия Пеньков, А.В. Зубарев, Е.Н. Польцева, О.В. Пономаренко, А.Г. Кондратенко, В.В. Бобков, В.В. Перегон, Т.И. Тищенко, Л.П. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий С помощью электронной микроскопии поперечных срезов и малоугловой рентгеновской дифрактометрии исследованы начальные стадии ионно-лучевого перемешивания в многослойных периодических композициях Mo/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия с энергией 40 кэВ. Показано отсутствие перемешивания в фазово-равновесной системе MoSi₂/Si. Начало процесса ионно-лучевого перемешивания в композициях Mo/Si обусловлено наличием в исходном состоянии перемешанных зон между молибденом и кремнием. Введение углеродных барьерных слоев между молибденом и кремнием препятствует формированию перемешанных зон и повышает радиационную стойкость. Установлена зависимость изменения толщин слоев многослойного покрытия от дозы облучения. За допомогою електронної мікроскопії поперечних зрізів і малокутової рентгенівської дифрактометрії досліджені початкові стадії іонно-променевого перемішування в багатошарових плівкових композиціях Mo/Si і Mo/C/Si/C при опромінюванні іонами гелію з енергією 40 кэВ. Показана відсутність перемішування у фазовій-рівноважній системі MoSi₂/Si. Початок процесу іонно-променевого перемішування в композиціях Mo/Si обумовлений наявністю в початковому стані перемішаних зон між молібденом і кремнієм. Введення вуглецевих бар'єрних шарів між молібденом і кремнієм перешкоджає формуванню перемішаних зон і підвищує радіаційну стійкість. Встановлена залежність зміни товщини шарів багатошарового покриття від дози опромінювання. The initial stages of ion-beam mixing are explored in Mo/Si and Mo/C/Si/C multilayers at an irradiation by 40 кэВ helium ions using electron microscopy of cross-sections and low angle x-ray diffractometry. Absence of interfusion is shown in the immiscible system MoSi₂/Si. Beginning of process of ion-beam mixing in Mo/Si composition is caused by presence in the initial state of the mixed zones between molybdenum and silicon. Introduction of carbon barrier layers between molybdenum and silicon blocks forming of the mixed zones and increase radiation stability. Dependence of layer thicknesses versus irradiation dose was studied. 2006 Article Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия / А.В. Пеньков, Е.Н. Зубарев, О.В. Польцева, А.Г. Пономаренко, В.В. Кондратенко, В.В. Бобков, Т.И. Перегон, Л.П. Тищенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 157-163. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 1562-6016 УДК 621.785.3:539.216.2 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80237 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
spellingShingle Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Пеньков, А.В.
Зубарев, Е.Н.
Польцева, О.В.
Пономаренко, А.Г.
Кондратенко, В.В.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
Вопросы атомной науки и техники
description С помощью электронной микроскопии поперечных срезов и малоугловой рентгеновской дифрактометрии исследованы начальные стадии ионно-лучевого перемешивания в многослойных периодических композициях Mo/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия с энергией 40 кэВ. Показано отсутствие перемешивания в фазово-равновесной системе MoSi₂/Si. Начало процесса ионно-лучевого перемешивания в композициях Mo/Si обусловлено наличием в исходном состоянии перемешанных зон между молибденом и кремнием. Введение углеродных барьерных слоев между молибденом и кремнием препятствует формированию перемешанных зон и повышает радиационную стойкость. Установлена зависимость изменения толщин слоев многослойного покрытия от дозы облучения.
format Article
author Пеньков, А.В.
Зубарев, Е.Н.
Польцева, О.В.
Пономаренко, А.Г.
Кондратенко, В.В.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
author_facet Пеньков, А.В.
Зубарев, Е.Н.
Польцева, О.В.
Пономаренко, А.Г.
Кондратенко, В.В.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
author_sort Пеньков, А.В.
title Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
title_short Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
title_full Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
title_fullStr Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
title_full_unstemmed Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия
title_sort межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях mo/si, mosi₂/si и mo/c/si/c при облучении ионами гелия
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2006
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80237
citation_txt Межслоевое перемешивание в многослойных периодических композициях Mo/Si, MoSi₂/Si и Mo/C/Si/C при облучении ионами гелия / А.В. Пеньков, Е.Н. Зубарев, О.В. Польцева, А.Г. Пономаренко, В.В. Кондратенко, В.В. Бобков, Т.И. Перегон, Л.П. Тищенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 4. — С. 157-163. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT penʹkovav mežsloevoeperemešivanievmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT zubareven mežsloevoeperemešivanievmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT polʹcevaov mežsloevoeperemešivanievmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT ponomarenkoag mežsloevoeperemešivanievmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT kondratenkovv mežsloevoeperemešivanievmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT bobkovvv mežsloevoeperemešivanievmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT peregonti mežsloevoeperemešivanievmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
AT tiŝenkolp mežsloevoeperemešivanievmnogoslojnyhperiodičeskihkompoziciâhmosimosi2siimocsicprioblučeniiionamigeliâ
first_indexed 2023-10-18T19:20:31Z
last_indexed 2023-10-18T19:20:31Z
_version_ 1796146654163763200

Схожі ресурси