Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films
Предложено применение метода послойной конденсации с последующим отжигом от 300 до 900 К для формирования омических контактов на основе пленок Fe и Ge. Проведены исследования микроструктуры и фазового состава контактных систем Fe/Ge, для которых получены симметричные линейные вольт- амперные харак...
Збережено в:
Дата: | 2014 |
---|---|
Автори: | , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80344 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films / О.V. Vlasenko, L.V. Odnodvorets, I.Yu. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 4. — С. 130-133. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-80344 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-803442015-04-17T03:02:03Z Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films Vlasenko, О.V. Odnodvorets, L.V. Protsenko, I.Yu. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Предложено применение метода послойной конденсации с последующим отжигом от 300 до 900 К для формирования омических контактов на основе пленок Fe и Ge. Проведены исследования микроструктуры и фазового состава контактных систем Fe/Ge, для которых получены симметричные линейные вольт- амперные характеристики и следующие рабочие параметры: сопротивление на квадрат площади 0,3 Ом/м² и термический коэффициент сопротивления 6∙10⁻⁴ К⁻¹. . Запропоновано застосування методу пошарової конденсації з наступним відпалюванням від 300 до 900 К для формування омічних контактів на основі плівок Fe і Ge. Проведенo дослідження мікроструктури і фазового складу контактних систем Fe/Ge, для яких отримано симетричні лінійні вольт-амперні характеристики та наступні робочі параметри: опір на квадрат площі 0,3 Ом/м² і термічний коефіцієнт опору 6∙10⁻⁴ К⁻¹. Предложено применение метода послойной конденсации с последующим отжигом от 300 до 900 К для формирования омических контактов на основе пленок Fe и Ge. Проведены исследования микроструктуры и фазового состава контактных систем Fe/Ge, для которых получены симметричные линейные вольт- амперные характеристики и следующие рабочие параметры: сопротивление на квадрат площади 0,3 Ом/м² и термический коэффициент сопротивления 6∙10⁻⁴ К⁻¹. 2014 Article Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films / О.V. Vlasenko, L.V. Odnodvorets, I.Yu. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 4. — С. 130-133. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 68.37.-d, 13.40.-f http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80344 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
English |
topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
spellingShingle |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Vlasenko, О.V. Odnodvorets, L.V. Protsenko, I.Yu. Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films Вопросы атомной науки и техники |
description |
Предложено применение метода послойной конденсации с последующим отжигом от 300 до 900 К для формирования омических контактов на основе пленок Fe и Ge. Проведены исследования микроструктуры и фазового состава контактных систем Fe/Ge, для которых получены симметричные линейные вольт- амперные характеристики и следующие рабочие параметры: сопротивление на квадрат площади 0,3 Ом/м² и термический коэффициент сопротивления 6∙10⁻⁴ К⁻¹.
. |
format |
Article |
author |
Vlasenko, О.V. Odnodvorets, L.V. Protsenko, I.Yu. |
author_facet |
Vlasenko, О.V. Odnodvorets, L.V. Protsenko, I.Yu. |
author_sort |
Vlasenko, О.V. |
title |
Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films |
title_short |
Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films |
title_full |
Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films |
title_fullStr |
Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films |
title_full_unstemmed |
Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films |
title_sort |
structure and physical characteristics of ohmic contacts based on fe and ge films |
publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
publishDate |
2014 |
topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80344 |
citation_txt |
Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films / О.V. Vlasenko, L.V. Odnodvorets, I.Yu. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 4. — С. 130-133. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
series |
Вопросы атомной науки и техники |
work_keys_str_mv |
AT vlasenkoov structureandphysicalcharacteristicsofohmiccontactsbasedonfeandgefilms AT odnodvoretslv structureandphysicalcharacteristicsofohmiccontactsbasedonfeandgefilms AT protsenkoiyu structureandphysicalcharacteristicsofohmiccontactsbasedonfeandgefilms |
first_indexed |
2023-10-18T19:20:46Z |
last_indexed |
2023-10-18T19:20:46Z |
_version_ |
1796146665413935104 |