Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films

Предложено применение метода послойной конденсации с последующим отжигом от 300 до 900 К для формирования омических контактов на основе пленок Fe и Ge. Проведены исследования микроструктуры и фазового состава контактных систем Fe/Ge, для которых получены симметричные линейные вольт- амперные харак...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2014
Автори: Vlasenko, О.V., Odnodvorets, L.V., Protsenko, I.Yu.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80344
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films / О.V. Vlasenko, L.V. Odnodvorets, I.Yu. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 4. — С. 130-133. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-80344
record_format dspace
spelling irk-123456789-803442015-04-17T03:02:03Z Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films Vlasenko, О.V. Odnodvorets, L.V. Protsenko, I.Yu. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Предложено применение метода послойной конденсации с последующим отжигом от 300 до 900 К для формирования омических контактов на основе пленок Fe и Ge. Проведены исследования микроструктуры и фазового состава контактных систем Fe/Ge, для которых получены симметричные линейные вольт- амперные характеристики и следующие рабочие параметры: сопротивление на квадрат площади 0,3 Ом/м² и термический коэффициент сопротивления 6∙10⁻⁴ К⁻¹. . Запропоновано застосування методу пошарової конденсації з наступним відпалюванням від 300 до 900 К для формування омічних контактів на основі плівок Fe і Ge. Проведенo дослідження мікроструктури і фазового складу контактних систем Fe/Ge, для яких отримано симетричні лінійні вольт-амперні характеристики та наступні робочі параметри: опір на квадрат площі 0,3 Ом/м² і термічний коефіцієнт опору 6∙10⁻⁴ К⁻¹. Предложено применение метода послойной конденсации с последующим отжигом от 300 до 900 К для формирования омических контактов на основе пленок Fe и Ge. Проведены исследования микроструктуры и фазового состава контактных систем Fe/Ge, для которых получены симметричные линейные вольт- амперные характеристики и следующие рабочие параметры: сопротивление на квадрат площади 0,3 Ом/м² и термический коэффициент сопротивления 6∙10⁻⁴ К⁻¹. 2014 Article Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films / О.V. Vlasenko, L.V. Odnodvorets, I.Yu. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 4. — С. 130-133. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 68.37.-d, 13.40.-f http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80344 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
spellingShingle Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Vlasenko, О.V.
Odnodvorets, L.V.
Protsenko, I.Yu.
Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films
Вопросы атомной науки и техники
description Предложено применение метода послойной конденсации с последующим отжигом от 300 до 900 К для формирования омических контактов на основе пленок Fe и Ge. Проведены исследования микроструктуры и фазового состава контактных систем Fe/Ge, для которых получены симметричные линейные вольт- амперные характеристики и следующие рабочие параметры: сопротивление на квадрат площади 0,3 Ом/м² и термический коэффициент сопротивления 6∙10⁻⁴ К⁻¹. .
format Article
author Vlasenko, О.V.
Odnodvorets, L.V.
Protsenko, I.Yu.
author_facet Vlasenko, О.V.
Odnodvorets, L.V.
Protsenko, I.Yu.
author_sort Vlasenko, О.V.
title Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films
title_short Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films
title_full Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films
title_fullStr Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films
title_full_unstemmed Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films
title_sort structure and physical characteristics of ohmic contacts based on fe and ge films
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2014
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80344
citation_txt Structure and physical characteristics of ohmic contacts based on Fe and Ge films / О.V. Vlasenko, L.V. Odnodvorets, I.Yu. Protsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 4. — С. 130-133. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT vlasenkoov structureandphysicalcharacteristicsofohmiccontactsbasedonfeandgefilms
AT odnodvoretslv structureandphysicalcharacteristicsofohmiccontactsbasedonfeandgefilms
AT protsenkoiyu structureandphysicalcharacteristicsofohmiccontactsbasedonfeandgefilms
first_indexed 2023-10-18T19:20:46Z
last_indexed 2023-10-18T19:20:46Z
_version_ 1796146665413935104