Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия

Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия

Методом молекулярной динамики исследованы физические механизмы низкотемпературного ионного уплотнения; показано, что оно происходит благодаря двум физическим механизмам. Первый механизм связан со сглаживанием поверхностного рельефа пленки во время ионной бомбардировки. Это приводит к уменьшению коли...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2005
Автори: Марченко, И.Г., Неклюдов, И.М.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2005
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Краткие сообщения
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80535
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия / И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 3. — С. 185-187. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-80535
record_format dspace
spelling irk-123456789-805352015-04-19T03:02:51Z Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия Марченко, И.Г. Неклюдов, И.М. Краткие сообщения Методом молекулярной динамики исследованы физические механизмы низкотемпературного ионного уплотнения; показано, что оно происходит благодаря двум физическим механизмам. Первый механизм связан со сглаживанием поверхностного рельефа пленки во время ионной бомбардировки. Это приводит к уменьшению количества «микротрещин», под которыми располагаются поры. Второй механизм ионного уплотнения определяется повышением плотности пленок в результате вбивания и последующей миграции к микропорам собственных междоузельных атомов. Методом молекулярної динаміки вивчені фізичні механізми низькотемпературного іонного ущільнення. Показано, що іонне ущільнення відбувається завдяки двом фізичним механізмам. Перший механізм пов’язаний із згладжуванням рельєфу поверхні при іонному бомбардуванні. Це призводить до зменшення кількості “мікротріщин”, під якими розташовуються пори. Другий механізм іонного ущільнення визначається підвищенням густини плівок за рахунок вбивання і наступній міграції міжвузельних атомів до мікропор The paper is about the physical mechanism of low temperature ion densification of the films performed by the method of molecular dynamics. The investigation shows that the ion densification occurs due to two physical mechanisms. The first mechanism is related with the film smoothing under ion bombarding. It leads to decreasing the quantity of “microcracks” below which pores take place. The second mechanism is the ion densification of films at the expense of knocking-in of interstitial atoms and its further migration to micro voids. 2005 Article Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия / И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 3. — С. 185-187. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80535 539.216:519.876.5 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Краткие сообщения
Краткие сообщения
spellingShingle Краткие сообщения
Краткие сообщения
Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
Вопросы атомной науки и техники
description Методом молекулярной динамики исследованы физические механизмы низкотемпературного ионного уплотнения; показано, что оно происходит благодаря двум физическим механизмам. Первый механизм связан со сглаживанием поверхностного рельефа пленки во время ионной бомбардировки. Это приводит к уменьшению количества «микротрещин», под которыми располагаются поры. Второй механизм ионного уплотнения определяется повышением плотности пленок в результате вбивания и последующей миграции к микропорам собственных междоузельных атомов.
format Article
author Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
author_facet Марченко, И.Г.
Неклюдов, И.М.
author_sort Марченко, И.Г.
title Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
title_short Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
title_full Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
title_fullStr Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
title_full_unstemmed Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
title_sort низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2005
topic_facet Краткие сообщения
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80535
citation_txt Низкотемпературное ионное уплотнение пленок ниобия / И.Г. Марченко, И.М. Неклюдов // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 3. — С. 185-187. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT marčenkoig nizkotemperaturnoeionnoeuplotnenieplenokniobiâ
AT neklûdovim nizkotemperaturnoeionnoeuplotnenieplenokniobiâ
first_indexed 2023-10-18T19:21:11Z
last_indexed 2023-10-18T19:21:11Z
_version_ 1796146684365897728

Схожі ресурси