Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации
Представлены результаты исследований начальной стадии роста углеродных алмазоподобных пленок, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом на кремнии. Методом сканирующей зондовой микроскопии изучена динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия в диапазоне толщин от 100 до 1000...
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2005
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80569 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации / И.Ю. Гончаров, А.Я. Колпаков, Н.В. Камышанченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 5. — С. 168-172. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-80569 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-805692015-04-20T03:02:02Z Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации Гончаров, И.Ю. Колпаков, А.Я. Камышанченко, Н.В. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Представлены результаты исследований начальной стадии роста углеродных алмазоподобных пленок, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом на кремнии. Методом сканирующей зондовой микроскопии изучена динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия в диапазоне толщин от 100 до 1000 нм. С использованием программного обеспечения сканирующего зондового микроскопа «Smena-A» произведен расчет степени шероховатости в зависимости от толщины. Установлено процентное соотношение нановыступов различных размеров на поверхности углеродных покрытий различных толщин. По данным эксперимента поверхность конденсата квалифицирована как фрактальная и проведен фрактальный анализ поверхности. Предпринята попытка объяснения механизма образования нановыступов на основе существующих моделей. Представлено результати досліджень початкової стадії росту вуглецевих алмазоподібних плівок, отриманих імпульсним вакуумно-дуговим методом на кремнії. Методом скануючої зондової мікроскопії вивчена динаміка росту нановиступів на поверхні вуглецевого покриття в діапазоні товщин від 100 до 1000 нм. З використанням програмного забезпечення скануючого зондового мікроскопа «Smena-A» зроблений розрахунок ступеня шорсткості залежно від товщини. Встановлено процентне співвідношення нановиступів різних розмірів на поверхні вуглецевих покриттів різних товщин. По даним експерименту поверхня конденсату кваліфікована як фрактальна й проведений фрактальний аналіз поверхні. Почато спробу пояснення механізму утворення нановиступів на основі існуючих моделейоделей. Results are presented on investigation of initial growth stages diamond-like carbon coating produced by pulse vacuum-arc method on silicon. Study dynamics of growth nanopeak on a surface of carbon coating in range of thickness from 100 up to 1000 nm by use method of scanning probe microscopy (SPM). About use of the software scanning probe microscope “SMENAA” to make a calculation roughness depending on thickness. The percent proportion nanopeak of the different sizes on a surface of carbon coatings of different thickness is established. On datas of experiment the surface of a condensate is qualified as fractal and the fractal analysis of a surface is conducting. To make an attempt of argument of formation nanopeak on the basis of the existing model. 2005 Article Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации / И.Ю. Гончаров, А.Я. Колпаков, Н.В. Камышанченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 5. — С. 168-172. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80569 621.793.00 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| spellingShingle |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Гончаров, И.Ю. Колпаков, А.Я. Камышанченко, Н.В. Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Представлены результаты исследований начальной стадии роста углеродных алмазоподобных пленок, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом на кремнии. Методом сканирующей зондовой микроскопии изучена динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия в диапазоне толщин от 100 до 1000 нм. С использованием программного обеспечения сканирующего зондового микроскопа «Smena-A» произведен расчет степени шероховатости в зависимости от толщины. Установлено процентное соотношение нановыступов различных размеров на поверхности углеродных покрытий различных толщин. По данным эксперимента поверхность конденсата квалифицирована как фрактальная и проведен фрактальный анализ поверхности. Предпринята попытка объяснения механизма образования нановыступов на основе существующих моделей. |
| format |
Article |
| author |
Гончаров, И.Ю. Колпаков, А.Я. Камышанченко, Н.В. |
| author_facet |
Гончаров, И.Ю. Колпаков, А.Я. Камышанченко, Н.В. |
| author_sort |
Гончаров, И.Ю. |
| title |
Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации |
| title_short |
Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации |
| title_full |
Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации |
| title_fullStr |
Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации |
| title_full_unstemmed |
Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации |
| title_sort |
динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2005 |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80569 |
| citation_txt |
Динамика роста нановыступов на поверхности углеродного покрытия на начальной стадии конденсации / И.Ю. Гончаров, А.Я. Колпаков, Н.В. Камышанченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 5. — С. 168-172. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT gončaroviû dinamikarostananovystupovnapoverhnostiuglerodnogopokrytiânanačalʹnojstadiikondensacii AT kolpakovaâ dinamikarostananovystupovnapoverhnostiuglerodnogopokrytiânanačalʹnojstadiikondensacii AT kamyšančenkonv dinamikarostananovystupovnapoverhnostiuglerodnogopokrytiânanačalʹnojstadiikondensacii |
| first_indexed |
2023-10-18T19:21:15Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:21:15Z |
| _version_ |
1796146687999213568 |