Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
Повышение физических, механических и химических характеристик тонких нитридных пленок зависит от методов их осаждения и усовершенствования структуры, которая и определяет получаемые свойства. Методом ионной имплантации и конденсации и ионной бомбардировки получены пленки нитридов на подложках Ti, Ta...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інстиут проблем машинобудування ім. А.М. Підгорного НАН України
2013
|
| Назва видання: | Проблемы машиностроения |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80949 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления / Н.А. Василенко, А.О. Василенко // Проблемы машиностроения. — 2013. — Т. 16, № 5. — С. 55-58. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Резюме: | Повышение физических, механических и химических характеристик тонких нитридных пленок зависит от методов их осаждения и усовершенствования структуры, которая и определяет получаемые свойства. Методом ионной имплантации и конденсации и ионной бомбардировки получены пленки нитридов на подложках Ti, Ta, W, Mo, Ni, Si (111) и NaCl (100), изучены их физические, электрические, химические характеристики. |
|---|