Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления

Повышение физических, механических и химических характеристик тонких нитридных пленок зависит от методов их осаждения и усовершенствования структуры, которая и определяет получаемые свойства. Методом ионной имплантации и конденсации и ионной бомбардировки получены пленки нитридов на подложках Ti, Ta...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2013
Автори:	Василенко, Н.А., Василенко, А.О.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інстиут проблем машинобудування ім. А.М. Підгорного НАН України 2013
Назва видання:	Проблемы машиностроения
Теми:	Материаловедение в машиностроении
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80949
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления / Н.А. Василенко, А.О. Василенко // Проблемы машиностроения. — 2013. — Т. 16, № 5. — С. 55-58. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-80949
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-809492015-04-29T03:01:55Z Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления Василенко, Н.А. Василенко, А.О. Материаловедение в машиностроении Повышение физических, механических и химических характеристик тонких нитридных пленок зависит от методов их осаждения и усовершенствования структуры, которая и определяет получаемые свойства. Методом ионной имплантации и конденсации и ионной бомбардировки получены пленки нитридов на подложках Ti, Ta, W, Mo, Ni, Si (111) и NaCl (100), изучены их физические, электрические, химические характеристики. Підвищення фізичних, механічних і хімічних характеристик тонких нітридних плівок залежить від методів їх осадження та удосконалення структури, яка і визначає одержувані властивості. Методом іонної імплантації та конденсації іонного бомбардування отримані плівки нітридів на підкладках Ti , Ta , W , Mo , Ni , Si ( 111 ) і NaCl ( 100 ), вивчено їх фізичні, електричні, хімічні характеристики. Improvement of physical, mechanical and chemical properties of thin nitride films depends on the methods of their deposition and improvement of the structure, which determines the obtained properties. In the production of nitride films, which are promising in solidstate microelectronics and instrument engineering, various reactive sputtering methods are widely used. For the solution of these problems, relatively new methods - ion implantation method (II) and condensation and ion bombardment (CIB) method, carried out on the "Bulat" installation are quite promising. However, films, obtained by various methods using the same initial materials, as a rule, have various characteristics. In this paper, the films of nitrides on Ti, Ta, W, Mo, Ni, Si (111) and NaCl (100) substrates were obtained by the above methods, their physical, electrical and chemical characteristics were studied. The kinetics and mechanism of build-up of the obtained film coatings were established, the growth constant was calculated. Due to the study of physicochemical properties of films, obtained by various methods it is possible to obtain film coatings with previously predicted properties. 2013 Article Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления / Н.А. Василенко, А.О. Василенко // Проблемы машиностроения. — 2013. — Т. 16, № 5. — С. 55-58. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 0131-2928 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80949 535.338.43.533.59 ru Проблемы машиностроения Інстиут проблем машинобудування ім. А.М. Підгорного НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Материаловедение в машиностроении Материаловедение в машиностроении
spellingShingle	Материаловедение в машиностроении Материаловедение в машиностроении Василенко, Н.А. Василенко, А.О. Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления Проблемы машиностроения
description	Повышение физических, механических и химических характеристик тонких нитридных пленок зависит от методов их осаждения и усовершенствования структуры, которая и определяет получаемые свойства. Методом ионной имплантации и конденсации и ионной бомбардировки получены пленки нитридов на подложках Ti, Ta, W, Mo, Ni, Si (111) и NaCl (100), изучены их физические, электрические, химические характеристики.
format	Article
author	Василенко, Н.А. Василенко, А.О.
author_facet	Василенко, Н.А. Василенко, А.О.
author_sort	Василенко, Н.А.
title	Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
title_short	Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
title_full	Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
title_fullStr	Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
title_full_unstemmed	Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
title_sort	сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления
publisher	Інстиут проблем машинобудування ім. А.М. Підгорного НАН України
publishDate	2013
topic_facet	Материаловедение в машиностроении
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/80949
citation_txt	Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления / Н.А. Василенко, А.О. Василенко // Проблемы машиностроения. — 2013. — Т. 16, № 5. — С. 55-58. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
series	Проблемы машиностроения
work_keys_str_mv	AT vasilenkona sopostavleniefizikohimičeskihsvojstvnitridnyhplenokpolučennyhraznymimetodamireaktivnogoraspyleniâ AT vasilenkoao sopostavleniefizikohimičeskihsvojstvnitridnyhplenokpolučennyhraznymimetodamireaktivnogoraspyleniâ
first_indexed	2023-10-18T19:22:05Z
last_indexed	2023-10-18T19:22:05Z
_version_	1796146725421842432

Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления

Репозитарії

Схожі ресурси