2025-02-23T15:13:04-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81131%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:13:04-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81131%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:13:04-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T15:13:04-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Применение разрядов в парах испаряемых металлов для осаждения плёнок из ионизированного потока

Приведены результаты исследований разрядного устройства для ионизации паров твердофазных веществ, испаряемых электронной пушкой с отклонением луча на 180°. Ионизирующее разрядное устройство диодного типа размещалось над поверхностью испаряемого материала и находилось в продольном регулируемом магнит...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Костин, Е.Г.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81131
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!