2025-02-23T15:12:51-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81132%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T15:12:51-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81132%22&qt=morelikethis&rows=5

2025-02-23T15:12:51-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK

2025-02-23T15:12:51-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления

Исследуются сильноточные импульсные режимы работы планарной магнетронной распылительной системы (МРС) с образованием на поверхности распыляемой мишени катодных пятен. Технологические испытания показали, что скорость осаждения покрытий зависит от типа разряда в МРС, и эта зависимость в импульсных реж...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Main Authors:	Бизюков, А.А., Середа, К.Н., Кашаба, А.Е., Ромащенко, Е.В., Чибисов, А.Д., Поневчинский, В.В., Слепцов, В.В.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Series:	Вопросы атомной науки и техники
Subjects:	Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
Online Access:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81132
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!

id	irk-123456789-81132
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-811322015-05-11T03:01:52Z Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления Бизюков, А.А. Середа, К.Н. Кашаба, А.Е. Ромащенко, Е.В. Чибисов, А.Д. Поневчинский, В.В. Слепцов, В.В. Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд Исследуются сильноточные импульсные режимы работы планарной магнетронной распылительной системы (МРС) с образованием на поверхности распыляемой мишени катодных пятен. Технологические испытания показали, что скорость осаждения покрытий зависит от типа разряда в МРС, и эта зависимость в импульсных режимах более сильная, чем в постоянных. В осажденном покрытии не обнаружено наличие капель материала катода. Это обусловлено тем, что они испаряются под действием потоков заряженных частиц плотной плазмы. Предложена теоретическая модель, показывающая возможность испарения или уменьшения размеров определенной части капель в плазменном потоке вакуумной дуги. Показано, что эффективность испарения капельной фазы растет с увеличением плотности плазмы. Досліджуються потужнострумові імпульсні режими роботи планарної магнетронної розпилювальної системи (МРС) з утворенням на поверхні розпалюваної мішені катодних плям. Технологічні випробування показали, що швидкість осадження покриттів залежить від типу розряду в МРС, і ця залежність в імпульсних режимах більш сильна ніж у постійному. В осадженому покритті не виявлена наявність крапель матеріалу катода. Відсутність в осадженому покритті крапель матеріалу катода, обумовлена тим, що вони випаровуються під дією потоків заряджених частинок плазми з високою густиною. Запропоновано теоретичну модель, яка показує можливість випаровування або зменшення розмірів певної частини крапель в плазмовому потоці вакуумної дуги. Показано, що ефективність випаровування краплинної фази росте зі збільшенням густини плазми. In the article, we investigate high-current regimes with initiation of cathode spots on the sputtered surface in planar magnetron sputtering system. The trials show that deposition rate depends on the discharge type in the system and this dependence in pulsed regimes is stronger than in stationary ones. The deposited coating does not contain drops of cathode material. The absence of drops is conditioned by the fact that they are evaporated under the effect of charged particle fluxes of dense plasma. The theoretical model describing possibility of evaporation or size decreasing of several sorts of particles in the plasma flux of vacuum arc is proposed. It was shown that efficiency of drop evaporation increases with increasing plasma density. 2006 Article Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления / А.А. Бизюков, К.Н. Середа, А.Е. Кашаба, Е.В. Ромащенко, А.Д. Чибисов, В.В. Поневчинский, В.В.Слепцов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 136-141. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 1562-6016 PACS: 52.80.Mg http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81132 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
spellingShingle	Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд Бизюков, А.А. Середа, К.Н. Кашаба, А.Е. Ромащенко, Е.В. Чибисов, А.Д. Поневчинский, В.В. Слепцов, В.В. Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления Вопросы атомной науки и техники
description	Исследуются сильноточные импульсные режимы работы планарной магнетронной распылительной системы (МРС) с образованием на поверхности распыляемой мишени катодных пятен. Технологические испытания показали, что скорость осаждения покрытий зависит от типа разряда в МРС, и эта зависимость в импульсных режимах более сильная, чем в постоянных. В осажденном покрытии не обнаружено наличие капель материала катода. Это обусловлено тем, что они испаряются под действием потоков заряженных частиц плотной плазмы. Предложена теоретическая модель, показывающая возможность испарения или уменьшения размеров определенной части капель в плазменном потоке вакуумной дуги. Показано, что эффективность испарения капельной фазы растет с увеличением плотности плазмы.
format	Article
author	Бизюков, А.А. Середа, К.Н. Кашаба, А.Е. Ромащенко, Е.В. Чибисов, А.Д. Поневчинский, В.В. Слепцов, В.В.
author_facet	Бизюков, А.А. Середа, К.Н. Кашаба, А.Е. Ромащенко, Е.В. Чибисов, А.Д. Поневчинский, В.В. Слепцов, В.В.
author_sort	Бизюков, А.А.
title	Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
title_short	Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
title_full	Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
title_fullStr	Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
title_full_unstemmed	Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
title_sort	испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate	2006
topic_facet	Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81132
citation_txt	Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления / А.А. Бизюков, К.Н. Середа, А.Е. Кашаба, Е.В. Ромащенко, А.Д. Чибисов, В.В. Поневчинский, В.В.Слепцов // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 5. — С. 136-141. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.
series	Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv	AT bizûkovaa ispareniemakročasticvplazmesilʹnotočnogoimpulʹsnogodugovogorazrâdanizkogodavleniâ AT seredakn ispareniemakročasticvplazmesilʹnotočnogoimpulʹsnogodugovogorazrâdanizkogodavleniâ AT kašabaae ispareniemakročasticvplazmesilʹnotočnogoimpulʹsnogodugovogorazrâdanizkogodavleniâ AT romaŝenkoev ispareniemakročasticvplazmesilʹnotočnogoimpulʹsnogodugovogorazrâdanizkogodavleniâ AT čibisovad ispareniemakročasticvplazmesilʹnotočnogoimpulʹsnogodugovogorazrâdanizkogodavleniâ AT ponevčinskijvv ispareniemakročasticvplazmesilʹnotočnogoimpulʹsnogodugovogorazrâdanizkogodavleniâ AT slepcovvv ispareniemakročasticvplazmesilʹnotočnogoimpulʹsnogodugovogorazrâdanizkogodavleniâ
first_indexed	2023-10-18T19:22:32Z
last_indexed	2023-10-18T19:22:32Z
_version_	1796146743925014528

Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления

Similar Items