2025-02-23T15:07:56-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81132%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:07:56-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81132%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T15:07:56-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T15:07:56-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления

Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления

Исследуются сильноточные импульсные режимы работы планарной магнетронной распылительной системы (МРС) с образованием на поверхности распыляемой мишени катодных пятен. Технологические испытания показали, что скорость осаждения покрытий зависит от типа разряда в МРС, и эта зависимость в импульсных реж...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Бизюков, А.А., Середа, К.Н., Кашаба, А.Е., Ромащенко, Е.В., Чибисов, А.Д., Поневчинский, В.В., Слепцов, В.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Газовый разряд, плазменно-пучковый разряд
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81132
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81132

Similar Items