2025-02-23T14:47:17-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81132%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T14:47:17-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81132%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T14:47:17-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T14:47:17-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Испарение макрочастиц в плазме сильноточного импульсного дугового разряда низкого давления
Исследуются сильноточные импульсные режимы работы планарной магнетронной распылительной системы (МРС) с образованием на поверхности распыляемой мишени катодных пятен. Технологические испытания показали, что скорость осаждения покрытий зависит от типа разряда в МРС, и эта зависимость в импульсных реж...
Saved in:
Main Authors: | Бизюков, А.А., Середа, К.Н., Кашаба, А.Е., Ромащенко, Е.В., Чибисов, А.Д., Поневчинский, В.В., Слепцов, В.В. |
---|---|
Format: | Article |
Language: | Russian |
Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
Series: | Вопросы атомной науки и техники |
Subjects: | |
Online Access: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81132 |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Similar Items
2025-02-23T14:47:17-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81132%22&qt=morelikethis
2025-02-23T14:47:17-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81132%22&qt=morelikethis
2025-02-23T14:47:17-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T14:47:17-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Similar Items
-
Нагрев и испарение металлических макрочастиц в пучково-плазменных системах
by: Бизюков, А.А., et al.
Published: (2010) -
Взаимодействие высокочастотных электрических полей с дрейфовым электронным потоком в разряде с поперечным магнитным полем
by: Бизюков, А.А., et al.
Published: (2006) -
Эмиссионные характеристики металлогидридных электродов в газовых разрядах низкого давления
by: Афанасьева, И.А., et al.
Published: (2008) -
Компонентный состав активных частиц в объемном барьерном разряде на сухом (относительная влажность RH ≈ 20%) и влажном (RH ≈ 80%) воздухе
by: Солошенко, И.А., et al.
Published: (2006) -
Про параметри катодоспрямованого стримеру
by: Остроушко, В.М., et al.
Published: (2006)