Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та модифікації пов...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Ukrainian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81320 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-81320 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-813202015-05-22T19:54:07Z Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню Точилін, С.Д. Чистые материалы и вакуумные технологии Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та модифікації поверхні напівпровідникових матеріалів. Получены временные зависимости упругого рассеяния света поверхностью германия при обработке в молекулярном и атомарном водороде. Установлена связь наблюдаемых особенностей рассеяния света с теорией. Эксперименты подобного рода можно использовать для контроля очистки и модификации поверхности полупроводниковых материалов. The temporary dependences for elastic scattering of light by a surface Germany at processing in molecular and atomic hydrogen have been investigated. The features of light scattering correspond to conclusions of the theory. The experiments of a similar sort can be used for the control of clearing and updating of semiconductor materials surface. 2006 Article Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81320 66.012.1; 535.361 uk Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Ukrainian |
| topic |
Чистые материалы и вакуумные технологии Чистые материалы и вакуумные технологии |
| spellingShingle |
Чистые материалы и вакуумные технологии Чистые материалы и вакуумные технологии Точилін, С.Д. Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в
молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання
світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та
модифікації поверхні напівпровідникових матеріалів. |
| format |
Article |
| author |
Точилін, С.Д. |
| author_facet |
Точилін, С.Д. |
| author_sort |
Точилін, С.Д. |
| title |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_short |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_full |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_fullStr |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_full_unstemmed |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| title_sort |
пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2006 |
| topic_facet |
Чистые материалы и вакуумные технологии |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81320 |
| citation_txt |
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT točilínsd pružnerozsíûvannâsvítlapoverhneûgermaníûprivplivímolekulârnogotaatomarnogovodnû |
| first_indexed |
2023-10-18T19:22:55Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:22:55Z |
| _version_ |
1796146764126879744 |