2025-02-23T10:42:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81320%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T10:42:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-81320%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T10:42:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T10:42:13-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню

Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню

Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та модифікації пов...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Точилін, С.Д.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2006
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Чистые материалы и вакуумные технологии
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81320
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id irk-123456789-81320
record_format dspace
spelling irk-123456789-813202015-05-22T19:54:07Z Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню Точилін, С.Д. Чистые материалы и вакуумные технологии Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та модифікації поверхні напівпровідникових матеріалів. Получены временные зависимости упругого рассеяния света поверхностью германия при обработке в молекулярном и атомарном водороде. Установлена связь наблюдаемых особенностей рассеяния света с теорией. Эксперименты подобного рода можно использовать для контроля очистки и модификации поверхности полупроводниковых материалов. The temporary dependences for elastic scattering of light by a surface Germany at processing in molecular and atomic hydrogen have been investigated. The features of light scattering correspond to conclusions of the theory. The experiments of a similar sort can be used for the control of clearing and updating of semiconductor materials surface. 2006 Article Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81320 66.012.1; 535.361 uk Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Ukrainian
topic Чистые материалы и вакуумные технологии
Чистые материалы и вакуумные технологии
spellingShingle Чистые материалы и вакуумные технологии
Чистые материалы и вакуумные технологии
Точилін, С.Д.
Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
Вопросы атомной науки и техники
description Отримано часові залежності пружного розсіювання світла поверхнею германію при обробці в молекулярному та атомарному водні. Встановлено зв'язок спостережуваних особливостей розсіювання світла з теорією. Експерименти подібного роду можна використовувати для контролю очищення та модифікації поверхні напівпровідникових матеріалів.
format Article
author Точилін, С.Д.
author_facet Точилін, С.Д.
author_sort Точилін, С.Д.
title Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
title_short Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
title_full Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
title_fullStr Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
title_full_unstemmed Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
title_sort пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2006
topic_facet Чистые материалы и вакуумные технологии
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81320
citation_txt Пружне розсіювання світла поверхнею германію при впливі молекулярного та атомарного водню / С.Д. Точилін // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 1. — С. 38-40. — Бібліогр.: 8 назв. — укр.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT točilínsd pružnerozsíûvannâsvítlapoverhneûgermaníûprivplivímolekulârnogotaatomarnogovodnû
first_indexed 2023-10-18T19:22:55Z
last_indexed 2023-10-18T19:22:55Z
_version_ 1796146764126879744

Similar Items