Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure
Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in atmospheric pressure argon in low-current α and high-current γ modes are determined experimentally and calculated by the hybrid hydro-dynamic model. Comparative analysis of obtained experimental data and simulat...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81945 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure / V.Yu. Bazhenov, V.V. Tsiolko, V.M. Piun, R.Yu. Chaplinskiy, A.I. Kuzmichev // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 137-140. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-81945 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-819452015-05-23T03:01:47Z Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure Bazhenov, V.Yu. Tsiolko, V.V. Piun, V.M. Chaplinskiy, R.Yu. Kuzmichev, A.I. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in atmospheric pressure argon in low-current α and high-current γ modes are determined experimentally and calculated by the hybrid hydro-dynamic model. Comparative analysis of obtained experimental data and simulated spatio-temporal distributions of concentrations of discharge plasma electrons and heavy species, mean energy of electrons in the RF barrier discharge enabled interpretation of the discharge structure peculiarities in low-current α, α-γ transition and high-current γ modes. Характеристики емкостного высокочастотного разряда с изолированными электродами в аргоне атмосферного давления в слаботочном α- и сильноточном γ-режимах установлены експериментально и рассчитаны с помощью гибридной гидродинамической модели. Сравнительный анализ полученных экспериментальных данных и смоделированных пространственно-временных распределений концентраций электронов и тяжелых частиц, средней энергии электронов в ВЧ-барьерном разряде дал возможность интерпретировать особенности структуры разряда в слаботочном α, переходном α-γ и сильноточном γ-режимах разряда. Характеристики ємнісного високочастотного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску в слабкострумовому α- та сильнострумовому γ-режимах встановлено експериментально та розраховано за допомогою гібридної гідродинамічної моделі. Порівняльний аналіз одержаних експериментальних даних та змодельованих просторово-часових розподілів густин електронів та важких часток, середньої енергії електронів у ВЧ-бар’єрному розряді дав можливість інтерпретувати особливості структури розряду в слабкострумовому α, перехідному α-γ та сильнострумовому γ-режимах розряду. 2014 Article Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure / V.Yu. Bazhenov, V.V. Tsiolko, V.M. Piun, R.Yu. Chaplinskiy, A.I. Kuzmichev // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 137-140. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.Pi, 61.30.Hn, 81.65.-b http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81945 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| spellingShingle |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Bazhenov, V.Yu. Tsiolko, V.V. Piun, V.M. Chaplinskiy, R.Yu. Kuzmichev, A.I. Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Glow characteristics of capacitive radio frequency discharge with isolated electrodes in atmospheric pressure argon in low-current α and high-current γ modes are determined experimentally and calculated by the hybrid hydro-dynamic model. Comparative analysis of obtained experimental data and simulated spatio-temporal distributions of concentrations of discharge plasma electrons and heavy species, mean energy of electrons in the RF barrier discharge enabled interpretation of the discharge structure peculiarities in low-current α, α-γ transition and high-current γ modes. |
| format |
Article |
| author |
Bazhenov, V.Yu. Tsiolko, V.V. Piun, V.M. Chaplinskiy, R.Yu. Kuzmichev, A.I. |
| author_facet |
Bazhenov, V.Yu. Tsiolko, V.V. Piun, V.M. Chaplinskiy, R.Yu. Kuzmichev, A.I. |
| author_sort |
Bazhenov, V.Yu. |
| title |
Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure |
| title_short |
Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure |
| title_full |
Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure |
| title_fullStr |
Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure |
| title_full_unstemmed |
Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure |
| title_sort |
theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon rf barrier discharge at atmospheric pressure |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2014 |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/81945 |
| citation_txt |
Theoretical and experimental investigation of the plasma source with argon RF barrier discharge at atmospheric pressure / V.Yu. Bazhenov, V.V. Tsiolko, V.M. Piun, R.Yu. Chaplinskiy, A.I. Kuzmichev // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 6. — С. 137-140. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT bazhenovvyu theoreticalandexperimentalinvestigationoftheplasmasourcewithargonrfbarrierdischargeatatmosphericpressure AT tsiolkovv theoreticalandexperimentalinvestigationoftheplasmasourcewithargonrfbarrierdischargeatatmosphericpressure AT piunvm theoreticalandexperimentalinvestigationoftheplasmasourcewithargonrfbarrierdischargeatatmosphericpressure AT chaplinskiyryu theoreticalandexperimentalinvestigationoftheplasmasourcewithargonrfbarrierdischargeatatmosphericpressure AT kuzmichevai theoreticalandexperimentalinvestigationoftheplasmasourcewithargonrfbarrierdischargeatatmosphericpressure |
| first_indexed |
2023-10-18T19:24:08Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:24:08Z |
| _version_ |
1796146827028856832 |