Coating in the arc discharges with plasma flow filtration
Experimental results of coating deposition with application of an “open architecture” filter to reduce the dropwise component in the discharge [1,2] are presented in this paper. The filter is located in a separate chamber conjugate with the presented system. A curvilinear (with an angle 90°) solen...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2006
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82292 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Coating in the arc discharges with plasma flow filtration / V. V. Gasilin, V.A. Zavaleyev, Yu. N. Nezovibat’ko, O.M. Shvets, V.S. Taran, E.V. Skorina // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 210-212. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-82292 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-822922015-05-28T03:02:23Z Coating in the arc discharges with plasma flow filtration Gasilin, V. V. Zavaleyev, V.A. Nezovibat’ko, Yu. N. Shvets, O.M. Taran, V.S. Skorina, E.V. Low temperature plasma and plasma technologies Experimental results of coating deposition with application of an “open architecture” filter to reduce the dropwise component in the discharge [1,2] are presented in this paper. The filter is located in a separate chamber conjugate with the presented system. A curvilinear (with an angle 90°) solenoid creating a transporting magnetic field [3] is used as the “open architecture” filter. Performing probe measurements of the ion saturation current dependences on the current of focussing coil, pressure of inert gas (argon) and reactionary gas (nitrogen). The measurement results of substrate temperature, deposition rate of coating. Представлены экспериментальные результаты нанесения покрытий PVD методом с применением фильтра «открытой архитектуры» для уменьшения капельной составляющей в разряде [1,2]. Представлен фильтр «открытой архитектуры», помещённый в отдельную камеру, сопряжённую с установкой. В качестве фильтра применяется соленоид, создающий криволинейное (с углом 90°) транспортирующее магнитное поле [3]. С помощью зондовых измерений получены зависимости ионного тока коллектора от изменения: тока фокусирующей катушки, давления инертного газа (аргона) и реакционного газа (азота). Представлены результаты измерения температуры подложки, скорость осаждения покрытия. Представлено експериментальні результати нанесення покрить PVD методом із застосуванням фільтру «відкритої архітектури» для зменшення краплинної складової в розряді [1,2]. Представлено фільтр «відкритої архітектури», який знаходиться в окремій камері, що сполучена з установкою. Як фільтр застосовується соленоїд, що створює криволінійне (з кутом 90°) транспортуюче магнітне поле [3]. За допомогою зондових вимірів отримані залежності іонного струму колектора від змін: струму фокусуючої котушки, тиску інертного газу (аргону) і реакційного газу (азоту). Представлено результати вимірів температури підкладки, швидкість осадження покриття. 2006 Article Coating in the arc discharges with plasma flow filtration / V. V. Gasilin, V.A. Zavaleyev, Yu. N. Nezovibat’ko, O.M. Shvets, V.S. Taran, E.V. Skorina // Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 210-212. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82292 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Gasilin, V. V. Zavaleyev, V.A. Nezovibat’ko, Yu. N. Shvets, O.M. Taran, V.S. Skorina, E.V. Coating in the arc discharges with plasma flow filtration Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Experimental results of coating deposition with application of an “open architecture” filter to reduce the dropwise
component in the discharge [1,2] are presented in this paper. The filter is located in a separate chamber conjugate with
the presented system. A curvilinear (with an angle 90°) solenoid creating a transporting magnetic field [3] is used as the
“open architecture” filter. Performing probe measurements of the ion saturation current dependences on the current of
focussing coil, pressure of inert gas (argon) and reactionary gas (nitrogen). The measurement results of substrate
temperature, deposition rate of coating. |
| format |
Article |
| author |
Gasilin, V. V. Zavaleyev, V.A. Nezovibat’ko, Yu. N. Shvets, O.M. Taran, V.S. Skorina, E.V. |
| author_facet |
Gasilin, V. V. Zavaleyev, V.A. Nezovibat’ko, Yu. N. Shvets, O.M. Taran, V.S. Skorina, E.V. |
| author_sort |
Gasilin, V. V. |
| title |
Coating in the arc discharges with plasma flow filtration |
| title_short |
Coating in the arc discharges with plasma flow filtration |
| title_full |
Coating in the arc discharges with plasma flow filtration |
| title_fullStr |
Coating in the arc discharges with plasma flow filtration |
| title_full_unstemmed |
Coating in the arc discharges with plasma flow filtration |
| title_sort |
coating in the arc discharges with plasma flow filtration |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2006 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82292 |
| citation_txt |
Coating in the arc discharges with plasma flow filtration / V. V. Gasilin, V.A. Zavaleyev, Yu. N. Nezovibat’ko, O.M. Shvets, V.S. Taran, E.V. Skorina
// Вопросы атомной науки и техники. — 2006. — № 6. — С. 210-212. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT gasilinvv coatinginthearcdischargeswithplasmaflowfiltration AT zavaleyevva coatinginthearcdischargeswithplasmaflowfiltration AT nezovibatkoyun coatinginthearcdischargeswithplasmaflowfiltration AT shvetsom coatinginthearcdischargeswithplasmaflowfiltration AT taranvs coatinginthearcdischargeswithplasmaflowfiltration AT skorinaev coatinginthearcdischargeswithplasmaflowfiltration |
| first_indexed |
2024-03-30T08:18:17Z |
| last_indexed |
2024-03-30T08:18:17Z |
| _version_ |
1796146862974042112 |