Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением

Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением

Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура, твердость и модуль упругости вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных с разными толщинами двухслойных периодов при постоянных отрицатель...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2015
Автори: Соболь, О.В., Андреев, А.А., Горбань, В.Ф., Столбовой, В.А., Пинчук, Н.В., Мейлехов, А.А.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82453
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением / О.В. Соболь, А.А. Андреев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, Н.В. Пинчук, А.А. Мейлехов // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 124-129. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-82453
record_format dspace
spelling irk-123456789-824532015-05-30T03:02:00Z Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением Соболь, О.В. Андреев, А.А. Горбань, В.Ф. Столбовой, В.А. Пинчук, Н.В. Мейлехов, А.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура, твердость и модуль упругости вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных с разными толщинами двухслойных периодов при постоянных отрицательных потенциалах смещения (Ub) -140 и -200 В. Установлено, что при действии этих потенциалов в процессе осаждения покрытий слои мононитридов ZrN и TiN формируются с преимущественной ориентацией кристаллитов (текстурой) с осью [111], перпендикулярной плоскости роста. Увеличение числа границ при уменьшении толщины периодов приводит к увеличению твердости до 45 ГПа, что значительно превосходит твердость каждого из слоев ZrN и TiN в отдельности. Методами рентгенівської дифрактометрії, електронної мікроскопії та мікроіндентування досліджені фазовий склад, структура, субструктура, твердість і модуль пружності вакуумно-дугових багатошарових покриттів системи TiN/ZrN, отриманих з різними товщинами двошарових періодів при постійних негативних потенціалах зміщення (Ub) -140 і -200 В . Встановлено, що при дії цих потенціалів в процесі осадження покриттів, шари мононитридів ZrN і TiN формуються з переважною орієнтацією кристалітів (текстурою) з віссю [111], перпендикулярній площині зростання. Збільшення числа границь при зменшенні товщини періодів призводить до підвищення твердості до 45 ГПа, що значно перевершує твердість кожного з шарів ZrN і TiN окремо. Phase composition, structure, substructure, hardness and elastic modulus of vacuum-arc multilayer coatings of TiN/ZrN, obtained with different thicknesses bilayer periods at constant negative bias potential (Ub) -140 and -200, was investigated by X-ray diffraction, electron microscopy and microindentation. It is established that under the action of these potentials during the deposition of layers mononitrides ZrN and TiN formed the preferred orientation of crystallites (texture) with the [111] axis perpendicular to the plane of growth. Increasing the number of boundaries with decreasing thickness of periods leads to increased hardness of 45 GPa, which is much greater than the hardness as ZrN and TiN single-layer coatings. 2015 Article Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением / О.В. Соболь, А.А. Андреев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, Н.В. Пинчук, А.А. Мейлехов // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 124-129. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1562-6016 PACS: 81.07.Bc, 61.05.сp, 68.55.jm, 61.82.R http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82453 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
spellingShingle Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Горбань, В.Ф.
Столбовой, В.А.
Пинчук, Н.В.
Мейлехов, А.А.
Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
Вопросы атомной науки и техники
description Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура, твердость и модуль упругости вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных с разными толщинами двухслойных периодов при постоянных отрицательных потенциалах смещения (Ub) -140 и -200 В. Установлено, что при действии этих потенциалов в процессе осаждения покрытий слои мононитридов ZrN и TiN формируются с преимущественной ориентацией кристаллитов (текстурой) с осью [111], перпендикулярной плоскости роста. Увеличение числа границ при уменьшении толщины периодов приводит к увеличению твердости до 45 ГПа, что значительно превосходит твердость каждого из слоев ZrN и TiN в отдельности.
format Article
author Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Горбань, В.Ф.
Столбовой, В.А.
Пинчук, Н.В.
Мейлехов, А.А.
author_facet Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Горбань, В.Ф.
Столбовой, В.А.
Пинчук, Н.В.
Мейлехов, А.А.
author_sort Соболь, О.В.
title Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
title_short Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
title_full Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
title_fullStr Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
title_full_unstemmed Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
title_sort влияние толщины бислоев tin/zrn на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2015
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82453
citation_txt Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением / О.В. Соболь, А.А. Андреев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой, Н.В. Пинчук, А.А. Мейлехов // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 124-129. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT sobolʹov vliânietolŝinybisloevtinzrnnastrukturuisvojstvamnogoslojnyhpokrytijpolučennyhvakuumnodugovymispareniem
AT andreevaa vliânietolŝinybisloevtinzrnnastrukturuisvojstvamnogoslojnyhpokrytijpolučennyhvakuumnodugovymispareniem
AT gorbanʹvf vliânietolŝinybisloevtinzrnnastrukturuisvojstvamnogoslojnyhpokrytijpolučennyhvakuumnodugovymispareniem
AT stolbovojva vliânietolŝinybisloevtinzrnnastrukturuisvojstvamnogoslojnyhpokrytijpolučennyhvakuumnodugovymispareniem
AT pinčuknv vliânietolŝinybisloevtinzrnnastrukturuisvojstvamnogoslojnyhpokrytijpolučennyhvakuumnodugovymispareniem
AT mejlehovaa vliânietolŝinybisloevtinzrnnastrukturuisvojstvamnogoslojnyhpokrytijpolučennyhvakuumnodugovymispareniem
first_indexed 2024-03-30T08:19:00Z
last_indexed 2024-03-30T08:19:00Z
_version_ 1796146878473043968

Схожі ресурси