Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием
Для нанесения наноструктурированных покрытий на внутренние поверхности разработана оригинальная конструкция несбалансированной цилиндрической магнетронной распылительной системы. Разработанная конструкция характеризуется простотой и возможностью выполнения всех технологических переходов ионно-плазме...
Збережено в:
| Дата: | 2013 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут технічної механіки НАН України і НКА України
2013
|
| Назва видання: | Техническая механика |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/88396 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием / А.Д. Гришкевич // Техническая механика. — 2013. — № 2. — С. 109-115. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-88396 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-883962015-11-15T03:02:20Z Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием Гришкевич, А.Д. Для нанесения наноструктурированных покрытий на внутренние поверхности разработана оригинальная конструкция несбалансированной цилиндрической магнетронной распылительной системы. Разработанная конструкция характеризуется простотой и возможностью выполнения всех технологических переходов ионно-плазменной обработки в одном вакуумном цикле. Расчетными и экспериментальными методами исследована структура магнитного поля в распылительной системе. Определены рабочие режимы предварительной ионной обработки и наноструктурирования покрытия способом ионного ассистирования. Результаты работы могут быть использованы при проектировании технологии и технологических устройств нанесения функциональных покрытий на внутренние поверхности пар трения типа цилиндр – поршень, работающих в условиях повышенного коррозионного и абразивного износа. Для нанесення наноструктурованих покриттів на внутрішні поверхні розроблено оригінальну конструкцію незбалансованої циліндричної магнетронної розпилюючої системи. Розроблена конструкція характеризується простотою и можливістю виконання всіх технологічних переходів іонно-плазмової обробки в одному вакуумному циклі. Розрахунковими і експериментальними методами досліджено структуру магнітного поля в розпилюючій системі. Визначено робочі режими попередньої іонної обробки і наноструктурування покриття іонним асистуванням. Результати роботи можуть бути використані при розробці технології і технологічних пристроїв для нанесення функціональних покриттів на внутрішні поверхні пар тертя типу циліндр – поршень, що експлуатуються в умовах підвищеного корозійного і абразивного зносу. Original design of a non-balanced cylindrical magnetron sprayed system is developed for nanostructured coating the inner surfaces. This design is characterized by simplicity and the possibility of executing all technological transitions of ion-plasma processing in one vacuum cycle. The structure of a magnetic field in the sprayed system is determined by the calculating and experimental methods. Working regimes of preliminary ion processing and nanostructured coating by ion assisting are defined. The research results can be used in the design of a technology and technological devices for functional coating the inner surfaces of friction pairs of the cylinder – piston type operating under conditions of corrosion and abrasive wear. 2013 Article Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием / А.Д. Гришкевич // Техническая механика. — 2013. — № 2. — С. 109-115. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1561-9184 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/88396 621.002.56 ru Техническая механика Інститут технічної механіки НАН України і НКА України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Для нанесения наноструктурированных покрытий на внутренние поверхности разработана оригинальная конструкция несбалансированной цилиндрической магнетронной распылительной системы. Разработанная конструкция характеризуется простотой и возможностью выполнения всех технологических переходов ионно-плазменной обработки в одном вакуумном цикле. Расчетными и экспериментальными методами исследована структура магнитного поля в распылительной системе. Определены рабочие режимы предварительной ионной обработки и наноструктурирования покрытия способом ионного ассистирования. Результаты работы могут быть использованы при проектировании технологии и технологических устройств нанесения функциональных покрытий на внутренние поверхности пар трения типа цилиндр – поршень, работающих в условиях повышенного коррозионного и абразивного износа. |
| format |
Article |
| author |
Гришкевич, А.Д. |
| spellingShingle |
Гришкевич, А.Д. Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием Техническая механика |
| author_facet |
Гришкевич, А.Д. |
| author_sort |
Гришкевич, А.Д. |
| title |
Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием |
| title_short |
Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием |
| title_full |
Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием |
| title_fullStr |
Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием |
| title_full_unstemmed |
Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием |
| title_sort |
цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием |
| publisher |
Інститут технічної механіки НАН України і НКА України |
| publishDate |
2013 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/88396 |
| citation_txt |
Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием / А.Д. Гришкевич // Техническая механика. — 2013. — № 2. — С. 109-115. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| series |
Техническая механика |
| work_keys_str_mv |
AT griškevičad cilindričeskaâmagnetronnaâraspylitelʹnaâsistemasionnymassistirovaniem |
| first_indexed |
2023-10-18T19:37:36Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:37:36Z |
| _version_ |
1796147471957622784 |