Фазообразование в нанокристаллических покрытиях состава Mo₂N, полученных вакуумно–дуговым осаждением молибдена в присутствии азота

• Дата: 2009
• Автори: Шулаев, В.М., Соболь, О.В., Андреев, А.А., Неклюдов, И.М., Столбовой, В.А.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
• Назва видання: Вопросы атомной науки и техники
• Теми: Физика и технология конструкционных материалов
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/90788
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Фазообразование в нанокристаллических покрытиях состава Mo₂N, полученных вакуумно–дуговым осаждением молибдена в присутствии азота / В.М. Шулаев , О.В. Соболь , А.А. Андреев , И.М. Неклюдов , В.А. Столбовой // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 6. — С. 262-267. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Исследован фазовый состав нанокристаллических нитридных покрытий, полученных вакуумно-дуговым осаждением молибдена в присутствии азота. Обнаружено, что вакуумно-дуговое осаждение высокочистого молибдена в присутствии азота при давлении в диапазоне 0,14…0,18 Па приводит к образованию покрытий нитрида молибдена состава Mo₂N двух модификаций, идентичных продуктам взаимодействия молибдена с азотом согласно равновесной фазовой диаграмме состояния. Наряду с высокотемпературной γ-Mo₂N фазой с кубической решеткой выявляется низкотемпературная фаза β-Mo₂N—с тетрагональной решеткой, содержание которой растет с увеличением скорости осаждения. Постоянный и импульсный потенциал смещения, приложенный к подложке, скорость осаждения в процессе синтеза также влияют на количественное соотношение этих фаз. После отжига при температуре 800 °С в течение двух часов покрытия оставались двухфазными. Использование относительно низкой скорости осаждения 3,5 мкм/ч приводит к формированию двухфазных конденсатов, состоящих из γ- и β-Mо₂N—фаз, не имеющих или имеющих слабо выраженную преимущественную ориентацию кристаллитов. В покрытиях, формируемых при большей скорости осаждения 7,0 мкм/ч, происходит образование аксиальной текстуры кристаллитов, тип которой определяется условиями синтеза (рабочим давлением, типом и величиной потенциала, подаваемого на подложку при осаждении).