Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т»
Представлены данные относительно выполненных изменений в конструкции вакуумно-дуговых испарителей металлов, электрической схеме привода вращения подложек, откачном оборудовании установки и улучшении защиты фланцев, смотровых систем от тепловых нагрузок с целью обеспечения осаждения функциональных по...
Збережено в:
Дата: | 2009 |
---|---|
Автори: | , , , |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2009
|
Назва видання: | Современная электрометаллургия |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96010 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» / А.В. Демчишин, В.А. Миченко, Г.А. Автономов, О.А. Токарев // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 40-42. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraineid |
irk-123456789-96010 |
---|---|
record_format |
dspace |
spelling |
irk-123456789-960102016-03-09T03:02:35Z Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» Демчишин, А.В. Миченко, В.А. Автономов, Г.А. Токарев, О.А. Вакуумно-дуговой переплав Представлены данные относительно выполненных изменений в конструкции вакуумно-дуговых испарителей металлов, электрической схеме привода вращения подложек, откачном оборудовании установки и улучшении защиты фланцев, смотровых систем от тепловых нагрузок с целью обеспечения осаждения функциональных покрытий на длинномерные изделия и формирования многослойных конденсатов с микро- и наноструктурой общей толщиной до 100 мкм и больше. Data are presented as regards to changes made in the design of vacuum-arc evaporators of metals, electrical diagram of drive of substrates rotation, pumping equipment of the installation and improvement of protection of flanges, viewing window systems from heat loads to provide the deposition of functional coatings on long products and formation of multi-layer condensates with a micro- and nanostructure of total thickness of up to 100 μm and higher. 2009 Article Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» / А.В. Демчишин, В.А. Миченко, Г.А. Автономов, О.А. Токарев // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 40-42. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. 0233-7681 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96010 621.793.18.06 ru Современная электрометаллургия Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
collection |
DSpace DC |
language |
Russian |
topic |
Вакуумно-дуговой переплав Вакуумно-дуговой переплав |
spellingShingle |
Вакуумно-дуговой переплав Вакуумно-дуговой переплав Демчишин, А.В. Миченко, В.А. Автономов, Г.А. Токарев, О.А. Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» Современная электрометаллургия |
description |
Представлены данные относительно выполненных изменений в конструкции вакуумно-дуговых испарителей металлов, электрической схеме привода вращения подложек, откачном оборудовании установки и улучшении защиты фланцев, смотровых систем от тепловых нагрузок с целью обеспечения осаждения функциональных покрытий на длинномерные изделия и формирования многослойных конденсатов с микро- и наноструктурой общей толщиной до 100 мкм и больше. |
format |
Article |
author |
Демчишин, А.В. Миченко, В.А. Автономов, Г.А. Токарев, О.А. |
author_facet |
Демчишин, А.В. Миченко, В.А. Автономов, Г.А. Токарев, О.А. |
author_sort |
Демчишин, А.В. |
title |
Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» |
title_short |
Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» |
title_full |
Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» |
title_fullStr |
Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» |
title_full_unstemmed |
Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» |
title_sort |
модифицированная вакуумно-дуговая установка «булат-3т» |
publisher |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
publishDate |
2009 |
topic_facet |
Вакуумно-дуговой переплав |
url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96010 |
citation_txt |
Модифицированная вакуумно-дуговая установка «Булат-3Т» / А.В. Демчишин, В.А. Миченко, Г.А. Автономов, О.А. Токарев // Современная электрометаллургия. — 2009. — № 3 (96). — С. 40-42. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
series |
Современная электрометаллургия |
work_keys_str_mv |
AT demčišinav modificirovannaâvakuumnodugovaâustanovkabulat3t AT mičenkova modificirovannaâvakuumnodugovaâustanovkabulat3t AT avtonomovga modificirovannaâvakuumnodugovaâustanovkabulat3t AT tokarevoa modificirovannaâvakuumnodugovaâustanovkabulat3t |
first_indexed |
2023-10-18T19:54:23Z |
last_indexed |
2023-10-18T19:54:23Z |
_version_ |
1796148233581363200 |