Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке
Приведены данные о влиянии стерильности вакуумной плавильной камеры на содержание фоновых и легирующих примесей в монокристаллах кремния, полученных способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки....
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2011
|
| Назва видання: | Современная электрометаллургия |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96283 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке / Е.А. Аснис, Н.В. Пискун, И.И. Статкевич // Современная электрометаллургия. — 2011. — № 4 (105). — С. 12-13. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-96283 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-962832016-03-14T03:02:14Z Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке Аснис, Е.А. Пискун, Н.В. Статкевич, И.И. Электронно-лучевые процессы Приведены данные о влиянии стерильности вакуумной плавильной камеры на содержание фоновых и легирующих примесей в монокристаллах кремния, полученных способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки. Data are given about the effect of sterility of vacuum melting chamber on content of background and alloying impurities in silicon single crystals produced by electron beam crucibleless zonal melting. 2011 Article Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке / Е.А. Аснис, Н.В. Пискун, И.И. Статкевич // Современная электрометаллургия. — 2011. — № 4 (105). — С. 12-13. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 0233-7681 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96283 669.187.826 ru Современная электрометаллургия Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Электронно-лучевые процессы Электронно-лучевые процессы |
| spellingShingle |
Электронно-лучевые процессы Электронно-лучевые процессы Аснис, Е.А. Пискун, Н.В. Статкевич, И.И. Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке Современная электрометаллургия |
| description |
Приведены данные о влиянии стерильности вакуумной плавильной камеры на содержание фоновых и легирующих примесей в монокристаллах кремния, полученных способом электронно-лучевой бестигельной зонной плавки. |
| format |
Article |
| author |
Аснис, Е.А. Пискун, Н.В. Статкевич, И.И. |
| author_facet |
Аснис, Е.А. Пискун, Н.В. Статкевич, И.И. |
| author_sort |
Аснис, Е.А. |
| title |
Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке |
| title_short |
Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке |
| title_full |
Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке |
| title_fullStr |
Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке |
| title_full_unstemmed |
Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке |
| title_sort |
очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке |
| publisher |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
| publishDate |
2011 |
| topic_facet |
Электронно-лучевые процессы |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96283 |
| citation_txt |
Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке / Е.А. Аснис, Н.В. Пискун, И.И. Статкевич // Современная электрометаллургия. — 2011. — № 4 (105). — С. 12-13. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| series |
Современная электрометаллургия |
| work_keys_str_mv |
AT asnisea očistkakremniâotfonovyhilegiruûŝihprimesejpriélektronnolučevojbestigelʹnojzonnojplavke AT piskunnv očistkakremniâotfonovyhilegiruûŝihprimesejpriélektronnolučevojbestigelʹnojzonnojplavke AT statkevičii očistkakremniâotfonovyhilegiruûŝihprimesejpriélektronnolučevojbestigelʹnojzonnojplavke |
| first_indexed |
2023-10-18T19:55:00Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:55:00Z |
| _version_ |
1796148261353947136 |