Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения

Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения

Представлены результаты исследования адгезии методом склерометрии тонких металлических плёнок Тi на стеклянных подложках, формируемых в условиях осаждения с одновременным облучением ионами Не с энергией 30 кэВ при температуре 300 °С. Обнаружено, что максимальная адгезия реализуется при толщине пл...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2009
Автори: Марченко, Ю.А., Перун, Н.В., Воеводин, В.Н., Ванжа, А.Ф., Александров, В.А.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2009
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96394
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, В.Н. Воеводин, А.Ф. Ванжа, В.А. Александров // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 4. — С. 298-301. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-96394
record_format dspace
spelling irk-123456789-963942016-03-16T03:02:30Z Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения Марченко, Ю.А. Перун, Н.В. Воеводин, В.Н. Ванжа, А.Ф. Александров, В.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Представлены результаты исследования адгезии методом склерометрии тонких металлических плёнок Тi на стеклянных подложках, формируемых в условиях осаждения с одновременным облучением ионами Не с энергией 30 кэВ при температуре 300 °С. Обнаружено, что максимальная адгезия реализуется при толщине плёнки Тi 0,2…0,3 мкм и соотношении He/Ti при имплантации равном 0,3…0,35. При этом прочность сцепления пленки со стеклом составляет 350 МПа. Представлені результати дослідження адгезії методом склерометріі тонких металевих плівок Тi на скляних підкладках, що формуються в умовах осадження з одночасним опромінюванням іонами Не з енергією 30 кеВ при температурі 300 °С. Виявлено, що максимальна адгезія реалізується при товщині плівки Тi 0,2…0,3 мкм і співвідношенні He/Ti при імплантації рівному 0,3…0,35. При цьому міцність зчеплення плівки з склом складає 350 МПа. The results of research of adhesion the method of sclerometry of thin metallic tapes of Тi are presented on glass substrates, formed in the conditions of besieging with a simultaneous irradiation ions Не with energy 30 keV at the temperature of 300 °C. It is discovered that maximal adhesion will be realized at the thickness of tape of Тi 0,2…0,3 mkm and correlation of He/Ti during implantation equal 0,3…0,35. Thus durability of coupling of tape with glass is 350 MРa. 2009 Article Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, В.Н. Воеводин, А.Ф. Ванжа, В.А. Александров // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 4. — С. 298-301. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96394 621.384.6:620.198 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
spellingShingle Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
Марченко, Ю.А.
Перун, Н.В.
Воеводин, В.Н.
Ванжа, А.Ф.
Александров, В.А.
Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
Вопросы атомной науки и техники
description Представлены результаты исследования адгезии методом склерометрии тонких металлических плёнок Тi на стеклянных подложках, формируемых в условиях осаждения с одновременным облучением ионами Не с энергией 30 кэВ при температуре 300 °С. Обнаружено, что максимальная адгезия реализуется при толщине плёнки Тi 0,2…0,3 мкм и соотношении He/Ti при имплантации равном 0,3…0,35. При этом прочность сцепления пленки со стеклом составляет 350 МПа.
format Article
author Марченко, Ю.А.
Перун, Н.В.
Воеводин, В.Н.
Ванжа, А.Ф.
Александров, В.А.
author_facet Марченко, Ю.А.
Перун, Н.В.
Воеводин, В.Н.
Ванжа, А.Ф.
Александров, В.А.
author_sort Марченко, Ю.А.
title Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
title_short Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
title_full Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
title_fullStr Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
title_full_unstemmed Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
title_sort адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2009
topic_facet Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96394
citation_txt Адгезионные свойства тонких металлических покрытий, нанесённых на стекло методом ионно-стимулированного осаждения / Ю.А. Марченко, Н.В. Перун, В.Н. Воеводин, А.Ф. Ванжа, В.А. Александров // Вопросы атомной науки и техники. — 2009. — № 4. — С. 298-301. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT marčenkoûa adgezionnyesvojstvatonkihmetalličeskihpokrytijnanesënnyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ
AT perunnv adgezionnyesvojstvatonkihmetalličeskihpokrytijnanesënnyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ
AT voevodinvn adgezionnyesvojstvatonkihmetalličeskihpokrytijnanesënnyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ
AT vanžaaf adgezionnyesvojstvatonkihmetalličeskihpokrytijnanesënnyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ
AT aleksandrovva adgezionnyesvojstvatonkihmetalličeskihpokrytijnanesënnyhnasteklometodomionnostimulirovannogoosaždeniâ
first_indexed 2023-10-18T19:55:14Z
last_indexed 2023-10-18T19:55:14Z
_version_ 1796148271873261568

Схожі ресурси