Электронно-лучевая очистка кристаллического кремния
Показано, что электронно-лучевая очистка может быть эффективным способом рафинирования кремния от примесей. Разработана схема очистки кристаллического кремния с использованием электронно-лучевой плавки, сочетающей в себе три этапа рафинирования по механизмам вакуумного и окислительного рафинирования...
Збережено в:
Видавець: | Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України |
---|---|
Дата: | 2013 |
Автор: | Березос, В.А. |
Формат: | Стаття |
Мова: | Russian |
Опубліковано: |
Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України
2013
|
Назва видання: | Современная электрометаллургия |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/96699 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Цитувати: | Электронно-лучевая очистка кристаллического кремния / В.А. Березос // Современная электрометаллургия. — 2013. — № 3 (112). — С. 19-23. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
-
Рафинирование кремния способом электронно-лучевой плавки
за авторством: Березос, В.А., та інші
Опубліковано: (2009) -
Электронно-лучевая плавка слитков жаропрочных сплавов на основе никеля
за авторством: Ахонин, С.В., та інші
Опубліковано: (2015) -
Электронно-лучевая плавка нового высокопрочного титанового сплава Т120
за авторством: Ахонин, С.В., та інші
Опубліковано: (2017) -
Электронно-лучевая установка УЭ-121
за авторством: Тригуб, Н.П., та інші
Опубліковано: (2003) -
Очистка кремния от фоновых и легирующих примесей при электронно-лучевой бестигельной зонной плавке
за авторством: Аснис, Е.А., та інші
Опубліковано: (2011)