Формирование элементного состава гетероструктур A³B⁵ при эпитаксиииз ионизированных потоков
Приведены результаты исследований процессов формирования атомного состава нанослоев соединений А³В⁵ и их твердых растворов при молекулярно-лучевой эпитаксии из ионизированных потоков. Показана важная роль одновременной ионизации как элементов А³ , так и элементов В⁵ для компьютерного управления сост...
Збережено в:
| Дата: | 2004 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2004
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98474 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Формирование элементного состава гетероструктур A³B⁵ при эпитаксиииз ионизированных потоков / В. Г. Вербицкий,С.В. Осинский // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 49–53. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |