Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He

Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He

С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается умень...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2004
Автори: Воронов, Д.Л., Девизенко, А.Ю., Зубарев, Е.Н., Кондратенко, В.В., Пеньков, А.В., Севрюкова, В.А., Бобков, В.В., Перегон, Т.И., Тищенко, Л.П.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2004
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98475
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д.Л. Воронов, А.Ю. Девизенко, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, А.В. Пеньков , В.А. Севрюкова, В.В. Бобков, Т. И. Перегон, Л. П. Тищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 54–59. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-98475
record_format dspace
spelling irk-123456789-984752016-04-16T03:01:40Z Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He Воронов, Д.Л. Девизенко, А.Ю. Зубарев, Е.Н. Кондратенко, В.В. Пеньков, А.В. Севрюкова, В.А. Бобков, В.В. Перегон, Т.И. Тищенко, Л.П. С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается уменьшением толщиныслоев молибдена и кремния, возрастанием толщиныперемешанных зон и уменьшением их плотности. В многослойном покрытии развиваются сжимающие напряжения За допомогою рентгенівської дифракції та електронної мікроскопії поперечних зрізів досліджені структурні зміни в багатошарових періодичних композиціях Mo/Si під час опромінювання іонами He. Встановлено, що опромінювання викликає зменшення періоду багатошарової композиції, яке супроводжується зменшенням товщини шарів молібдену та кремнію, зростанням товщини перемішаних зон та зменшенням їх густини. В багатошаровому покритті розвиваються стискуючі напруги. The structural changes in Mo/Si multilayer coatings induced by He ions irradiation were studied. The electron microscopy of cross-sections and low-angle x-ray diffraction were used. It was shown that irradiation lead to shrinkage of multilayer’s period and thicknesses of Mo and Si layers, growth of mixed zones, decreasing of mixed zone density. Compressing stresses in the coating were formed during irradiation. 2004 Article Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д.Л. Воронов, А.Ю. Девизенко, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, А.В. Пеньков , В.А. Севрюкова, В.В. Бобков, Т. И. Перегон, Л. П. Тищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 54–59. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98475 621.785.3:539.216.2 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается уменьшением толщиныслоев молибдена и кремния, возрастанием толщиныперемешанных зон и уменьшением их плотности. В многослойном покрытии развиваются сжимающие напряжения
format Article
author Воронов, Д.Л.
Девизенко, А.Ю.
Зубарев, Е.Н.
Кондратенко, В.В.
Пеньков, А.В.
Севрюкова, В.А.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
spellingShingle Воронов, Д.Л.
Девизенко, А.Ю.
Зубарев, Е.Н.
Кондратенко, В.В.
Пеньков, А.В.
Севрюкова, В.А.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
Физическая инженерия поверхности
author_facet Воронов, Д.Л.
Девизенко, А.Ю.
Зубарев, Е.Н.
Кондратенко, В.В.
Пеньков, А.В.
Севрюкова, В.А.
Бобков, В.В.
Перегон, Т.И.
Тищенко, Л.П.
author_sort Воронов, Д.Л.
title Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
title_short Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
title_full Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
title_fullStr Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
title_full_unstemmed Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
title_sort начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях mo/si при облучении ионами he
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2004
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98475
citation_txt Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д.Л. Воронов, А.Ю. Девизенко, Е.Н. Зубарев, В.В. Кондратенко, А.В. Пеньков , В.А. Севрюкова, В.В. Бобков, Т. И. Перегон, Л. П. Тищенко // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 1-2. — С. 54–59. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT voronovdl načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT devizenkoaû načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT zubareven načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT kondratenkovv načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT penʹkovav načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT sevrûkovava načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT bobkovvv načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT peregonti načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
AT tiŝenkolp načalʹnyestadiiperemešivaniâvmnogoslojnyhperiodičeskihpokrytiâhmosiprioblučeniiionamihe
first_indexed 2023-10-18T19:59:49Z
last_indexed 2023-10-18T19:59:49Z
_version_ 1796148476535373824

Схожі ресурси