Levitation of particles in O₂ plasma

Levitation of particles in O₂ plasma

Oxygen discharges are scientifically and industrially interesting owing to chemical properties and physical effects. These latter are mostly due to the presence of negative ions affecting the plasma boundary in front of the surface to be processed. In this contribution we use particles levitating...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2004
Автори: Annaratone, B.M., Antonova, T., Thomas, H.M., Morfill, G.E., Lisovskiy, V.A.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2004
Назва видання:Физическая инженерия поверхности
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98489
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Levitation of particles in O₂ plasma / B.M. Annaratone, T. Antonova, V.A. Lisovskiy, H.M. Thomas, G.E. Morfill // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 4. — С. 165–167. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-98489
record_format dspace
spelling irk-123456789-984892016-04-16T03:01:47Z Levitation of particles in O₂ plasma Annaratone, B.M. Antonova, T. Thomas, H.M. Morfill, G.E. Lisovskiy, V.A. Oxygen discharges are scientifically and industrially interesting owing to chemical properties and physical effects. These latter are mostly due to the presence of negative ions affecting the plasma boundary in front of the surface to be processed. In this contribution we use particles levitating in the Oxygen plasma sheath as a diagnostic of the intermediate positions in the sheath between the plasma and the solid surface. The experimental results for three particle sizes are compared with the theoretical levitation force obtained by the modelling of the electronegative plasma sheath and the charging of particles in it. Розряди в кисні представляють науковий і технологічний інтерес завдяки хімічнимвластивостямтафізичним ефектам. Причиною цього є наявність негативних іонів, що впливають на границю плазми перед оброблюваною поверхнею. У даній роботі використовуються частинки, які левітують в приелектродному шарі кисневої плазми як діагностичний засіб для проміжних положень у шарі міжплазмою і твердою поверхнею. Експериментальні результати для трьох розмірів частинок порівнюються з теоретичною силою левітації, отриманоїза допомогою моделювання плазмового шару в електронегативному газі та процесу зарядки в ньому частинок. Разряды в кислороде представляют научный и технологический интерес благодаря химическим свойствам и физическим эффектам. Причиной этого является наличие отрицательных ионов, воздействующих на границу плазмы перед обрабатываемой поверхностью. В данной работе используются частицы, левитирующие в приэлектродном слое кислородной плазмы как диагностическое средство для промежуточных положений в слое между плазмой и твердой поверхностью. Экспериментальные результаты для трех размеров частиц сравниваются с теоретической силой левитации, полученной с помощью моделирования плазменного слоя в электроотрицательном газе и процесса зарядки в нем частиц. 2004 Article Levitation of particles in O₂ plasma / B.M. Annaratone, T. Antonova, V.A. Lisovskiy, H.M. Thomas, G.E. Morfill // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 4. — С. 165–167. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98489 543.51 en Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
description Oxygen discharges are scientifically and industrially interesting owing to chemical properties and physical effects. These latter are mostly due to the presence of negative ions affecting the plasma boundary in front of the surface to be processed. In this contribution we use particles levitating in the Oxygen plasma sheath as a diagnostic of the intermediate positions in the sheath between the plasma and the solid surface. The experimental results for three particle sizes are compared with the theoretical levitation force obtained by the modelling of the electronegative plasma sheath and the charging of particles in it.
format Article
author Annaratone, B.M.
Antonova, T.
Thomas, H.M.
Morfill, G.E.
Lisovskiy, V.A.
spellingShingle Annaratone, B.M.
Antonova, T.
Thomas, H.M.
Morfill, G.E.
Lisovskiy, V.A.
Levitation of particles in O₂ plasma
Физическая инженерия поверхности
author_facet Annaratone, B.M.
Antonova, T.
Thomas, H.M.
Morfill, G.E.
Lisovskiy, V.A.
author_sort Annaratone, B.M.
title Levitation of particles in O₂ plasma
title_short Levitation of particles in O₂ plasma
title_full Levitation of particles in O₂ plasma
title_fullStr Levitation of particles in O₂ plasma
title_full_unstemmed Levitation of particles in O₂ plasma
title_sort levitation of particles in o₂ plasma
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
publishDate 2004
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98489
citation_txt Levitation of particles in O₂ plasma / B.M. Annaratone, T. Antonova, V.A. Lisovskiy, H.M. Thomas, G.E. Morfill // Физическая инженерия поверхности. — 2004. — Т. 2, № 4. — С. 165–167. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
series Физическая инженерия поверхности
work_keys_str_mv AT annaratonebm levitationofparticlesino2plasma
AT antonovat levitationofparticlesino2plasma
AT thomashm levitationofparticlesino2plasma
AT morfillge levitationofparticlesino2plasma
AT lisovskiyva levitationofparticlesino2plasma
first_indexed 2023-10-18T19:59:51Z
last_indexed 2023-10-18T19:59:51Z
_version_ 1796148478028546048

Схожі ресурси