Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения
Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также характера формируемых слоистых структур в зависимости от геометрии системы катод – подложка. В качестве примера рассматривае...
Збережено в:
| Видавець: | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
|---|---|
| Дата: | 2005 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2005
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98763 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Цитувати: | Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 199–207. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Репозиторії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-98763 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-987632016-04-18T03:02:24Z Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также характера формируемых слоистых структур в зависимости от геометрии системы катод – подложка. В качестве примера рассматривается процесс формирования многослойного покрытия на основе нитридов титана и хрома. Надаються розрахункові формули й на їхній підставі аналіз розподілу швидкостей конденсації потоків речовини, які генеруються вакуумно-дуговым джерелом, товщини покриттів, а також характеру формованих шаруватих структур залежно від геометрії системи катод – підкладка. Як приклад розглядається процес формування бгатошарового покриття на основі нітридів титану й хрому. Analysis of speed distribution of matter flows condensation, which are generated by vacuum-arc source, analyses of covering thickness, as well as the nature of formed layered structures depending on geometry of the system “cathode-substrate” are carried out on the basis of calculation formula given in the present work. Formation process of multi-layer covering on the basis of Ti and Cr nitrides is considered as an example. 2005 Article Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 199–207. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98763 621.793.14; 621.793.184 – 94.001.24 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Приводятся расчетные формулы и на их основе анализ распределения скоростей конденсации
потоков вещества, генерируемых вакуумно-дуговым источником, толщины покрытий, а также
характера формируемых слоистых структур в зависимости от геометрии системы катод –
подложка. В качестве примера рассматривается процесс формирования многослойного
покрытия на основе нитридов титана и хрома. |
| format |
Article |
| author |
Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. |
| spellingShingle |
Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Кунченко, Ю.В. Кунченко, В.В. |
| author_sort |
Кунченко, Ю.В. |
| title |
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения |
| title_short |
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения |
| title_full |
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения |
| title_fullStr |
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения |
| title_full_unstemmed |
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения |
| title_sort |
модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2005 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98763 |
| citation_txt |
Модель формирования слоистой структуры покрытий, получаемых методом вакуумно – дугового осаждения / Ю.В. Кунченко, В.В. Кунченко // Физическая инженерия поверхности. — 2005. — Т. 3, № 3-4. — С. 199–207. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT kunčenkoûv modelʹformirovaniâsloistojstrukturypokrytijpolučaemyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ AT kunčenkovv modelʹformirovaniâsloistojstrukturypokrytijpolučaemyhmetodomvakuumnodugovogoosaždeniâ |
| first_indexed |
2023-10-18T20:00:27Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:00:27Z |
| _version_ |
1796148505292570624 |