Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда
Показана возможность формирования слоистых покрытий TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом вакуумно-дугового осаждения, с использованием ВЧ разряда, для очистки плазменного потока от микрочастиц. На основе расчета скоростей осаждения (толщины) определены технологические параметры, позволяющие формировать...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2006
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98788 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда / В.М. Береснев, В.Т. Толок, О.М. Швец, Е.В. Фурсова, Н.Н. Чернышов, Л.В. Маликов // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 104–109. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-98788 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-987882016-04-18T03:02:50Z Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда Береснев, В.М. Толок, В.Т. Швец, О.М. Фурсова, Е.В. Чернышов, Н.Н. Маликов, Л.В. Показана возможность формирования слоистых покрытий TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом вакуумно-дугового осаждения, с использованием ВЧ разряда, для очистки плазменного потока от микрочастиц. На основе расчета скоростей осаждения (толщины) определены технологические параметры, позволяющие формировать нанослоистые структуры. Установлены закономерности изменения фазово-структурного состава, микротвердости получаемых покрытий от давления, ускоряющего потенциала подложки. Изучены триботехнические характеристики покрытий в сравнении с покрытием TiN. Результаты триботехнических испытаний свидетельствуют, что нанослойные покрытия TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 по своим эксплуатационным показателям существенно превышают покрытие TiN. Доведено можливість формування шарових покриттів TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом вакуумнодугового осадження з використанням ВЧ- розряду, для очищення плазмового потоку від мікрочастинок. На основі розрахунків швидкості осадження (товщини) визначені технологічні параметри, які дозволяють формувати наношарові структури. Установлено закономірності зміни фаза-структурного складу, мікротвердості отриманих покриттів від тиску, прискорюваного потенціалу напруги, який подається на підкладинку. Вивчено триботехнічні характеристики покриттів у порівнянні з покриттям TiN. Результати триботехнічних випробувань свідчать, що наношарові покриття TiN/ Mo, TiN/БрАЖ9-4 за своїми експлуатаційними показниками суттєво перевищують покриття TiN. The opportunity of formation of layered coverings TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4, by a method of vacuum-arc sedimentation with use HF of the discharge, for clearing a plasma stream of microparticles is shown. On the basis of calculations speed (thickness) the technological parameters are determined, allowing to form nanolayers structures. Laws of change phasestructural structure, microhardness of received coverings from the pressure, the accelerating potential of a substrate are established. Shown, that a study flowing of fciction characteristics of coverings in comparison with covering TiN. Results friction tests testify, that nanolayer coverings TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 on the operational parameters essentially exceed covering TiN. 2006 Article Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда / В.М. Береснев, В.Т. Толок, О.М. Швец, Е.В. Фурсова, Н.Н. Чернышов, Л.В. Маликов // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 104–109. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98788 621.793: 539.61: 669.018: 620.1 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Показана возможность формирования слоистых покрытий TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 методом
вакуумно-дугового осаждения, с использованием ВЧ разряда, для очистки плазменного потока
от микрочастиц. На основе расчета скоростей осаждения (толщины) определены
технологические параметры, позволяющие формировать нанослоистые структуры. Установлены
закономерности изменения фазово-структурного состава, микротвердости получаемых
покрытий от давления, ускоряющего потенциала подложки. Изучены триботехнические
характеристики покрытий в сравнении с покрытием TiN. Результаты триботехнических
испытаний свидетельствуют, что нанослойные покрытия TiN/Mo, TiN/БрАЖ9-4 по своим
эксплуатационным показателям существенно превышают покрытие TiN. |
| format |
Article |
| author |
Береснев, В.М. Толок, В.Т. Швец, О.М. Фурсова, Е.В. Чернышов, Н.Н. Маликов, Л.В. |
| spellingShingle |
Береснев, В.М. Толок, В.Т. Швец, О.М. Фурсова, Е.В. Чернышов, Н.Н. Маликов, Л.В. Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Береснев, В.М. Толок, В.Т. Швец, О.М. Фурсова, Е.В. Чернышов, Н.Н. Маликов, Л.В. |
| author_sort |
Береснев, В.М. |
| title |
Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда |
| title_short |
Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда |
| title_full |
Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда |
| title_fullStr |
Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда |
| title_full_unstemmed |
Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда |
| title_sort |
микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием вч-разряда |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2006 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98788 |
| citation_txt |
Микро-нанослойные покрытия, сформированные методом вакуумно-дугового осаждения с использованием ВЧ-разряда / В.М. Береснев, В.Т. Толок, О.М. Швец, Е.В. Фурсова, Н.Н. Чернышов, Л.В. Маликов // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 1-2. — С. 104–109. — Бібліогр.: 20 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT beresnevvm mikronanoslojnyepokrytiâsformirovannyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâsispolʹzovaniemvčrazrâda AT tolokvt mikronanoslojnyepokrytiâsformirovannyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâsispolʹzovaniemvčrazrâda AT švecom mikronanoslojnyepokrytiâsformirovannyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâsispolʹzovaniemvčrazrâda AT fursovaev mikronanoslojnyepokrytiâsformirovannyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâsispolʹzovaniemvčrazrâda AT černyšovnn mikronanoslojnyepokrytiâsformirovannyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâsispolʹzovaniemvčrazrâda AT malikovlv mikronanoslojnyepokrytiâsformirovannyemetodomvakuumnodugovogoosaždeniâsispolʹzovaniemvčrazrâda |
| first_indexed |
2023-10-18T20:00:31Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:00:31Z |
| _version_ |
1796148507942322176 |