2025-02-23T17:08:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98793%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T17:08:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98793%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T17:08:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T17:08:13-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления

Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления

В данной работе представлены результаты экспериментального исследования ВЧ емкостного разряда в SF₆, NF₃ и SiH₄ низкого давления.

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Лисовский, В.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2006
Series:Физическая инженерия поверхности
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98793
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Similar Items

2025-02-23T17:08:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98793%22&qt=morelikethis
2025-02-23T17:08:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&rows=40&rows=5&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-98793%22&qt=morelikethis
2025-02-23T17:08:13-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T17:08:13-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Similar Items