Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий
Получены вакуумно-дуговые TiN покрытия, осаждаемые в условиях имплантации металлических и газовых ионов, обладающие сверхвысокой твердостью 40 ÷ 53 ГПа. Синтез покрытий осуществлялся при температурах подложки от 105 до 320 °C, что расширяет круг обрабатываемых материалов, включая нанесение покрыт...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2006
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98796 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Осаждение сверхтвердых вакуумно-дуговых TiN покрытий / А.А. Андреев, В.М. Шулаев, В.Ф. Горбань, В.А. Столбовой // Физическая инженерия поверхности. — 2006. — Т. 4, № 3-4. — С. 179–183. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |