Установка для осаждения материалов из газовой фазы
Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических параметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Исследованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора....
Збережено в:
| Дата: | 2007 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2007
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98819 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Установка для осаждения материалов из газовой фазы / А.Ф. Корж, Ю.Ф. Лонин, Ю.О. Пилипец, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 98–100. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-98819 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-988192016-04-18T03:02:52Z Установка для осаждения материалов из газовой фазы Корж, А.Ф. Лонин, Ю.Ф. Пилипец, Ю.О. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических параметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании покрываемой поверхности. Исследованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора. Розроблена установка для газо фазного осадження матеріалів. Виконано оцінку газодинамічних параметрів потоку пара газової суміші в реакційному об‘ємі при обтіканні покриваючої поверхні. Дослідженні процеси осадження вольф-раму та карбіду бора. The installation for gas-phase deposition of materials is developed. Gas- dynamic parameters of a vapor-gas mixture flow in the reaction volume by fowaround of the surface being coated are evaluated. The processes of tungsten and boron carbide deposition are investigated. 2007 Article Установка для осаждения материалов из газовой фазы / А.Ф. Корж, Ю.Ф. Лонин, Ю.О. Пилипец, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 98–100. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. 1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98819 669.094.54:661.87.621:661.668 ru Физическая инженерия поверхности Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Разработана установка для газофазного осаждения материалов. Выполнена оценка газодинамических параметров потока парогазовой смеси в реакционном объеме при обтекании
покрываемой поверхности. Исследованы процессы осаждения вольфрама и карбида бора. |
| format |
Article |
| author |
Корж, А.Ф. Лонин, Ю.Ф. Пилипец, Ю.О. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. |
| spellingShingle |
Корж, А.Ф. Лонин, Ю.Ф. Пилипец, Ю.О. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. Установка для осаждения материалов из газовой фазы Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Корж, А.Ф. Лонин, Ю.Ф. Пилипец, Ю.О. Хованский, Н.А. Шеремет, В.И. Широков, Б.М. |
| author_sort |
Корж, А.Ф. |
| title |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы |
| title_short |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы |
| title_full |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы |
| title_fullStr |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы |
| title_full_unstemmed |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы |
| title_sort |
установка для осаждения материалов из газовой фазы |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2007 |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/98819 |
| citation_txt |
Установка для осаждения материалов из газовой фазы / А.Ф. Корж, Ю.Ф. Лонин, Ю.О. Пилипец, Н.А. Хованский, В.И. Шеремет, Б.М. Широков // Физическая инженерия поверхности. — 2007. — Т. 5, № 1-2. — С. 98–100. — Бібліогр.: 3 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT koržaf ustanovkadlâosaždeniâmaterialovizgazovojfazy AT loninûf ustanovkadlâosaždeniâmaterialovizgazovojfazy AT pilipecûo ustanovkadlâosaždeniâmaterialovizgazovojfazy AT hovanskijna ustanovkadlâosaždeniâmaterialovizgazovojfazy AT šeremetvi ustanovkadlâosaždeniâmaterialovizgazovojfazy AT širokovbm ustanovkadlâosaždeniâmaterialovizgazovojfazy |
| first_indexed |
2023-10-18T20:00:35Z |
| last_indexed |
2023-10-18T20:00:35Z |
| _version_ |
1796148511232753664 |